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1. 污垢中的無極成分或處理后的灰分會殘留在物體表面，因此需要采用相應的辦法進一步清除，如加裝真空除塵或與超聲波干洗配套使用。

2.處理時，當清洗對象表面與照射光源距離稍遠時，產生的臭氧會自動分解失去作用，一定要注意清洗表面與光源的距離，也就是注意平臺或傳送帶上工件的高度或厚度。

3.這種處理方法要求紫外線能透過清洗對象表面，對有立體結構的清洗對象不太適合，只能清洗表面結構的物體。

4.由于需防止臭氧擴散對人體造成損害，需要在封閉裝置中進行清洗。

5.由于臭氧是通過氧化反應去除污垢的，所以容易被氧化的表面不能用這種方法處理。