5
*BROOKS流量控制器SLA5853
寬FS流量范圍，氣體的測量和控制，<3ccm到2500 lpm（N2當量）
精度：高達1200 lpm：±1.0%（20％-100％FS）1.0％±0.2％FS（低于20％F??S）
1200-2500 lpm：±1％FS包括線性度
業界*傳感器的穩定性，長期漂移性能，每年< 0.2％
通過減少維護和消除周期調整，增加系統的吞吐量
可達10個可選擇校正曲線存儲
彈性過程連接選項符合ANSI / ISA SP-76標準
簡化了安裝和維護過程，工作更加有效率
控制響應：
軟啟動可用于定制MFC性能，工藝要求。
專有自適應閥控制，這保證了過程壓力的意外變化不會導致流量從設定值偏離
Brooks Instruments是專注于提供壓力測量儀器的制造商，成立于1946年，總部位于美國賓夕法尼亞州，面積達到28000平方英尺。現在，公司分設了多個不同的機構，提供更加細致專業的儀器產品。本著為市場負責的原則，其一直堅持著在質量把控方面一絲不茍的態度，堅決生產出高質量、高度、使用壽命長的專業儀器。產品可用于醫療、水、化學、實驗室、氣體、半導體、太陽能、電子等行業。
*BROOKS流量控制器SLA5853
流量范圍：FS范圍100-2500 lpm
重復性：±0.20％
溫度敏感性
零：每攝氏度小于0.05％FS
跨度：每攝氏度小于0.05％FS
質量流量控制器
SLA5850, SLA5851, SLA5853
質量流量計
SLA5860,SLA5861, SLA5863
其他產品型號
BROOKS控制器S124Y059AAA
