當前位置:> 供求商機> RNKS-PFA硅片清洗架特氟龍清洗花籃4寸帶把手
PFA花籃(PFA wafer Cassette) 又名 清洗花藍 ,鐵氟龍卡匣 , 鐵氟龍晶舟盒 ,鐵氟龍晶圓盒為承載半導體晶圓片/硅片的容器,耐酸耐堿耐腐蝕(強酸、強氟酸、強堿),主要用于半導體蝕刻部門之酸堿制程中使用、傳送晶圓。我司PFA花籃,進入化學酸、堿蝕刻制程中,可搭配PFA把手使用。 特點 1.耐腐蝕:耐受強酸強堿 2.搭配可活動把手,用于晶圓芯片清洗運輸 3.耐高低溫:-200~260℃ 4.耐絕緣:介電性能與溫度、頻率無關; 5.防污染:本底值低,金屬元素鉛鈾含量小于0.01ppb; 6.低的溶出和析出,確保晶圓芯片無污染 7.化學性能穩定 |
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