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熱燈絲離子源是通過加熱燈絲發射原初電子，發射出來的原初電子，經過鞘層被加速獲得相應于等離子體與之間電位差的參數。

熱燈絲寬波束離子源

KF/F 40 KF/I 40

圖1 熱燈絲寬波束離子源

熱燈絲離子源是通過加熱燈絲發射原初電子，發射出來的原初電子，經過鞘層被加速獲得相應于等離子體與之間電位差的參數。等離子體的電位略高于陽電位。這類高速電子與從進氣口均勻進入放電室的氣體原子相碰撞形成等離子體，形成的離子被離子光學系統發出形成離子束。

1. KF40使用簡單、緊湊的考夫曼離子源，可以方便快速地更換燈絲，配備特殊電網絕緣調節系統，所有的惰性氣體以及氮氣均可適用于離子源，柵網系統有多種形狀與材料。

2. KF40安裝在儀器內部和外部均可，使用功能陶瓷，維護方便快捷，工作壽命長。

技術規范

gaitubao_網頁版rf40 2_jpg.jpg

圖2 熱燈絲寬波束離子源尺寸布局

參數	KF/F40	KF/I40
類型	法蘭安裝考夫曼子源多孔徑提取柵網	內部安裝射考夫曼源多孔徑提取柵網
源材料	放電管：Al₂O₃ 柵網：C或Mo 燈絲固定器：Mo 永磁體：AlNiCo 外殼：不銹鋼燈絲：鎢
柵網類型	2柵網或3柵網系統 3種不同焦距的標準系統
型號	參見上圖（無中和器）
重量	約4.5kg	約2.5kg
法蘭	DN 100 CF	3個DN 40 CF介質引線
電流:	30A
放電電流/電壓	6A / 150 V
離子電流	25 mA（取決于柵網類型和運行條件）
離子能量	50 到 1500 eV
加速電壓	0 –1000 V
過程氣體	惰性氣體，N₂，不能是活性氣體
氣流流量	2-7sccm 接頭：6 mm Swagelock	2-7sccm 接頭：1/8“Swagelock（空氣和真空）
電連接	HV-DC：BNC HC-DC：電源啟動	空氣側：BNC，電源接通真空側：包括0.5米真空電纜的電源啟動

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