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| 供貨周期 | 一個(gè)月以上 |
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產(chǎn)品分類品牌分類
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DA215化油器發(fā)動(dòng)機(jī) DA200I化油器發(fā)動(dòng)機(jī) DA170化油器發(fā)動(dòng)機(jī) DA150L化油器發(fā)動(dòng)機(jī) DA120化油器發(fā)動(dòng)機(jī) DA100I化油器發(fā)動(dòng)機(jī) DA100L化油器發(fā)動(dòng)機(jī) DA85化油器發(fā)動(dòng)機(jī) DA70化油器發(fā)動(dòng)機(jī) DA60化油器發(fā)動(dòng)機(jī) DA50化油器發(fā)動(dòng)機(jī) DA35化油器發(fā)動(dòng)機(jī)
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
線性ECR寬波束離子源
模塊化EC/L XXX離子源
關(guān)鍵的設(shè)計(jì)特性
基于簡單、緊湊的微波耦合的無燈絲源
永磁體使用電子回旋共振(ECR)
法蘭安裝配置
功能陶瓷維護(hù)方便快捷
特殊的電網(wǎng)絕緣調(diào)節(jié)系統(tǒng)
優(yōu)勢
適用全惰性氣體、氧氣等活性氣體
柵網(wǎng)系統(tǒng)有不同的形狀和材料
長達(dá)2米的工作模塊
少的維護(hù)和超長壽命,維修周期超過300h
均勻離子流超過總長度的百分之六十五尺寸/型號
技術(shù)規(guī)范
參數(shù) | EC/L600 |
類型 | 法蘭安裝射頻激勵(lì)離子源 多孔徑提取柵網(wǎng) |
源材料 | 放電管：Al2O3 柵網(wǎng)：C 微波天線的真空分離：二氧化硅杯 永磁體：NdFeB 外殼：不銹鋼 磁屏蔽：鍍鎳鋼 |
柵網(wǎng)類型 | 2柵網(wǎng)或3柵網(wǎng)系統(tǒng) 2種不同焦距的標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng) |
型號 | 深度：標(biāo)準(zhǔn)110 mm（可調(diào)為250 mm） 235 mm x 675 mm（無法蘭） |
重量 | 約75kg |
法蘭 | 帶O形密封圈的非標(biāo)準(zhǔn)矩形法蘭 340 mm x 775 mm |
微波電源 | 每個(gè)模塊在2.45 GHz時(shí)約125-400 W |
離子電流 | 1 A（取決于柵網(wǎng)類型和運(yùn)行條件） |
離子 | 100 到 2000 eV |
加速電壓 | 0 –1000 V |
過程氣體 | 惰性氣體，N2（無限制） O2和含鹵素氣體（柵極壽命縮短） |
氣流流量 | 5-20sccm 接頭：1/8“Swagelock（空氣和真空） |
冷卻水 | 1.5 l/min |
電連接 | 6 mm Swagelock |