原子力顯微鏡是利用懸臂末端的尖針掃描樣品表面,懸臂的機械設計結(jié)構(gòu)帶來精確的懸臂定位。簡便的懸臂安裝,內(nèi)置傳感器的“自檢測懸臂”比普通原子力顯微鏡探頭大得多,便于攜帶和安裝。良好的擴展功能通過激光檢測,可以擴展各種可選功能。此外,激光檢測模式只能通過插拔一根電纜來切換。金屬屏蔽隔音盒,4倍目標光學定位,無對焦,實時觀察和定位探頭樣品掃描區(qū)域。
原子力顯微鏡常見的五類探針概述:
1.非接觸/輕敲模式針尖及接觸模式探針
分辨率高,使用壽命一般。使用過程中探針不斷磨損,分辨率很容易下降。主要應用于表面形貌觀察。
2.導電探針
通過對普通探針鍍10-50納米厚的Pt得到。導電探針應用于EFM,KFM,SCM等。導電探針分辨率比tapping和contact模式的探針差,使用時導電鍍層容易脫落,導電性難以長期保持。導電針尖的新產(chǎn)品有碳納米管針尖、金剛石鍍層針尖、全金剛石針尖、全金屬絲針尖,這些新技術克服了普通導電針尖的短壽命和分辨率不高的缺點。
3.磁性探針
應用于MFM,通過在普通tapping和contact模式的探針上鍍Co、Fe等鐵磁性層制備,分辨率比普通探針差,使用時導電鍍層容易脫落。
4.大長徑比探針
大長徑比針尖是專為測量深的溝槽以及近似鉛垂的側(cè)面而設計生產(chǎn)的。不太常用,分辨率很高,使用壽命一般。
5.類金剛石/全金剛石探針
一種是在硅探針的針尖部分上加一層類金剛石碳膜,另外一種是全金剛石材料制備。這兩種金剛石碳探針具有很大的耐久性,減少了針尖的磨損從而增加了使用壽命,但后者的價格也不菲。