適用于任何高/低壓（3kV 至 7kV）PECVD 和 PVD 工藝的最新和*價格競爭力的中頻發生器

BDS-MF 5 - 10 - 15 kW @ 40kHz，高壓|低壓交流等離子發生器

BDS-MF 是一款 40 kHz 等離子發生器，最大輸出功率為 5、10 或 15 kW，專為 PECVD 或等離子清洗應用中的等離子激發而設計。該裝置能夠在 7000V RMS 輸出下提供高達 10kW 的功率。

輸出為平衡式，可驅動2個對稱電極。典型應用是大型工藝室的 PE-CVD 工藝。一個*的功能是內置 2 個（標準）或 3 個（根據要求）變壓器抽頭的高壓匹配變壓器可用作阻抗匹配。

用戶只需將兩根同軸電纜連接到電極上。與用戶 PLC 的接口可以是模擬或數字 RS232 或 Profibus（根據要求）。

亮點和好處：

• 內置輸出匹配變壓器，無需外接盒。

• 風冷機組。沒有與潮濕或漏水相關的風險。

• 全功率，環境溫度高達 40°C。

• 模擬接口。

• 可根據要求提供 Profibus 接口。

• 前面板顯示屏使安裝和故障排除更加容易。

• 高效率 >90%。

• 結構緊湊輕巧，僅 20 公斤，4UI。

CE 標志 - 意大利制造

新一代價格競爭力的高效 200、300 和 750 瓦 13.56 MHz 黑盒射頻發生器

BDS HF 200 - 300 - 750 黑匣子系列

BDISCOM 推出新一代中低功率射頻發生器，旨在滿足實驗室級和小型低壓工業等離子系統的需求。

• BDS.HF 200-300-750.BB 型，黑盒式，僅帶模擬 0-10 VDC 端口。

中低功率黑盒系列由一個 200、300 或 750 W @ 13,56 MHz 輸出功率的單元組成，黑盒配置僅具有模擬用戶端口，0-10 VDC A/D 接口。主 230 VAC 由與發電機一起提供的外部電源提供。

• BDS HF 黑匣子 (BB) 發生器的常見規格： BDS HF 系列是 E 類電路，典型效率為 85-90%。

輸出功率通過作用在直流總線上的 PWM 電路進行調制

CE 標志 - 意大利制造

Plasma Matrix & Super Plasma Matrix

價格競爭力的臺式射頻 13.56 MHz 等離子反應器系統系列，適用于研發或小型工業試驗生產中的大部分清潔/蝕刻工藝（從 2.5 升到 40 升 SS 304 真空室）

Plasma Matrix 和 Super Plasma Matrix 臺式等離子反應器旨在滿足等離子清洗、蝕刻和表面活化的大部分研發和工業應用，其中初始機器投資必須保持在非常低的水平。

工具軟件的簡單友好使用（通過 LCD 觸摸屏顯示）以及 Matrix 系列 SS 真空室的優化設計，使其處于當今市場提供的。

Bdiscom Matrix 等離子反應器系列包括根據不同研發和工業應用的要求保持等離子工藝穩定和可重復所需的所有功能。

目前有兩個版本的 Plasma Matrix 可用：

- Plasma Matrix Plus  配備 2.5 升 SS 真空處理室、兩個進氣口和手動感應手動加工網絡，配備高達 200 瓦射頻 @ 13.56 MHz 發生器

-具有 40 升 SS 真空處理室、兩個進氣口和一個全電容自動阻抗匹配網絡的超級等離子矩陣，帶有高達 300 瓦射頻 @ 13.56 MHz 發生器