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應用領域 | 環(huán)保,化工,能源,電氣,綜合 |
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產(chǎn)品簡介:
流量計/控制器和壓力控制器廣泛應用于氣相色譜、分析設備、材料設備、生物醫(yī)藥、半導體等領域。
G300C 系列流量控制器可根據(jù)客戶需求定制,更加適用于客戶使用環(huán)境。
數(shù)字式設計簡介:
G300C 系列質(zhì)量流量控制器標配高精度傳感器和數(shù)字電路,數(shù)字電路可完成測量及控制所需的所有基本功能。G300C 系列采用標準的RS-485 Modbus RTU 通信模式。RS-485 總線最高可擴展至 255 臺設備同時使用。
G300C 質(zhì)量流量控制器特點:
? 高精度、高分辨率控制
? 低功率,功率<2W
? 集成 20 種基礎氣體種類
? 可自定義 10 種混合氣體
? 控制參數(shù)自整定功能
? 數(shù)字化控制,RS-485 Modbus RTU 通信模式
? 寬流量量程范圍
? 無需預熱
? 無安裝方向限制
? 具有高重復性和高可靠性
? 采用電磁比例閥,使用壽命長,響應速度快
? 自帶溫度補償,補償范圍 0-50℃
? 內(nèi)部閉環(huán)控制,具有高穩(wěn)定性
? 小封裝尺寸
量程及精度簡介:
? 可用量程:
? 最大 0-50slpm
? 最小 0-1sccm
? 常備量程請參考選型表
? 量程比:1000:1 ? 滿量程精度:±0.2%
? 讀取精度:±0.8% ? 可重復性:±0.2%FS
? 響應時間:<100ms(調(diào)節(jié) PID 控制參數(shù)可縮 短響應時間)
應用領域:
? 氣相和液相色譜儀 ? 半導體工藝
? 環(huán)境監(jiān)測設備 ? 微反應裝置及材料制備實驗裝置(CVD)
? 氣體發(fā)生器 ? 配氣混氣系統(tǒng)
功能介紹:
流量控制 可實現(xiàn)高精度、高重復性、多種氣體質(zhì)量流量控制。
累計流量 可通過 Modbus-RTU 協(xié)議讀取累計流量。
獨立使用 無需連接任何設備,可通過按鍵和顯示完成大部分功能操作。
多種量程選擇 最小量程 1sccm,最大量程 50slpm。
內(nèi)置 20 種基本氣體 內(nèi)置 20 種基本氣體,氣體種類可定制。
10 種自定義混合氣 可根據(jù)使用需求,自定義混合氣。
多電氣接口 標準配置 1 個 DC 插座,2 個 RJ45 接口,1 個 DB9 接口。
模擬控制 0-5V 模擬控制信號輸入輸出。
數(shù)字控制 按鍵控制或使用 RS-485 通信控制。
標準 Modbus-RTU RS-485 通信采用標準 Modbus-RTU 通信協(xié)議。
參數(shù)自整定 控制參數(shù)可通過協(xié)議或按鍵實現(xiàn)自動調(diào)整到最佳 PID 控制參數(shù)。
設定值記憶功能 開啟該功能后,MFC 可記錄斷電前最后一次設定值,再次通電直接執(zhí)行該設定值。
閥控功能 可實現(xiàn)閥全開、閥全關(guān)、閥自動閉環(huán)控制功能。
多臺設備串聯(lián) 通過更改通信地址,最大可實現(xiàn) 255 臺設備串聯(lián)控制。
自定義波特率 可通過 Modbus-RTU 設置自定義波特率。