標準氣體發生器是將滲透管或擴散管作為氣體發生源來發生標準氣體的裝置。當滲透管和擴散保持在恒溫狀態時，單位時間和內滲透量和蒸發量是恒定的。所以，將這兩種管子保護在恒溫狀態，將空氣和氮氣等稀釋氣體定量送入，就可連續發生微量濃度的標準氣體。氣體的濃度由該物質的單位時間的滲透速度(蒸發擴散速度)及稀釋氣體的流量等基礎物理量決定，而一定規格的滲透管(擴散管)的滲透速度(蒸發擴散速度)可以用減重法得到:故這種方法具有很高的可信度。具體的裝置如下圖所示。
利用滲透管發生標準氣體
滲透管是在特定質量的氟化樹脂管內封入高純度的液化氣體所制成的，當保持在一定的溫度下時，管內的液化氣體將從管壁向外滲透，并且在單位時間內，其滲透的量保持不變。所以，只要保持一定的溫度，并通入一定量的稀釋氣體，就可以獲得一定濃度的校正用標準氣體。由于可以通過滲透管重量的減少和稀釋氣體的流量來計算標準氣體的濃度，所以這種方法的準確性很高。而且是動態的氣體發生方法，可以發生氯氣，硫化氫，氨等化學性質很活潑的氣體。滲透管的種類很多(如下表所示)而且能發生多種穩定的標準氣體，所以有著廣泛的用途。滲透管法被日本的「惡臭防止法實施規則」以及厚生勞動省公布的「勞動環境指導方針」所認定。在美國也被NIST「美國國立標準技術研究所」和EPA「美國環境保護廳」作為標準法認定。
擴散管
適用于單一成分校準氣體制備
多成分用擴散管
稀釋劑等溶劑含有多種物質。以往的方法只能制備單一物質的校準氣體，用多種成分用擴散管，可同時制備4種物質的校準氣體。可提高分析工作的效率。
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