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半導體無塵車間 工業(yè)無菌潔凈室設計
凈化工程是指控制產品(如硅芯片等)所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產品能在一個良好的環(huán)境空間中生產、制造。此環(huán)境空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。
無塵車間工程是指按照客戶的要求,提供對微粒、有害空氣、細菌等污染物的有效控制,溫度、濕度、噪聲、照度、潔凈度、室內壓差、氣流速度與氣流分布、振動、靜電等各項指標均滿足安全生產需求的潔凈受控空間。無塵車間的主要作用在于為產品生產(如硅芯片等)和服務提供所需環(huán)境的潔凈程度,以及溫濕度、微震動、噪聲、照度等各項指標,使相關產品和服務能夠在一個滿足要求的、受控的、良好的環(huán)境空間中進行生產和操作,從而達到提高產品生產的良品率,改善和提升相關服務質量的目標。
半導體無塵車間 工業(yè)無菌潔凈室設計
由于工業(yè)的需求凈化工程在近幾年,在不斷地壯大,尤其是應用在實驗室上的凈化,實驗室凈化就是將*凈化設備用在某個特定的實驗室內,使得所在室內就不會受外界環(huán)境的影響,這也是一種隔離式的凈化,對于實驗室來說,這種恒溫壓不受外界元素干擾的環(huán)境,使得實驗結果精確,實驗室器材精確度受保護,當然對于不同的實驗室,會有不同的凈化方法,一般情況會有以下幾種分類,有亂流式、層流式、復合式等,下面分別介紹這幾種作用。
(1) 潔凈環(huán)境是為生產工藝服務的,潔凈室設計必須滿足生產工藝的環(huán)境要求,這是理所當然的。因此,在潔凈室設計時生產工藝對環(huán)境參數的要求應該實事求是,其面積、層高,溫度、濕度,潔凈度等應該該高則高,該低則低,并非越高越好。在不影響生產工藝正常運行的前提下盡可能地降低參數要求,控制凈化面積,縮小高凈化級別潔凈區(qū)的范圍,嚴格控制100級和更高級別單向流潔凈區(qū)的面積。 [3]
(2)在生產工藝平面區(qū)劃時盡可能把相同級別的潔凈房間布置在一起,把潔凈度要求高的工序設置在上風側,把產生粉灰、有毒、有害、易燃、易爆廢氣的工藝設備、容器盡可能放在潔凈區(qū)外,若必須放在潔凈區(qū)內時應盡量采取密閉措施以減少粉塵和廢氣的排放量。