mirionPIPS探測器  mirionPIPS探測器  mirionPIPS探測器

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利用光刻技術來確定器件的幾何形狀，用平面工藝制作PIPPS探測器。專有技術用于精確控制氧化物鈍化，離子注入用于形成低反向漏電流和薄入口窗口所需的精確控制結。光刻技術幾乎適合于直徑為140毫米的任何幾何形狀。均勻離子注入接觸的電阻率可以精確控制，產生極薄的入口窗口(<50 nm)的位置敏感探測器。

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