產(chǎn)品簡介
1、噪聲要求
1.1單向流和混合流潔凈室(區(qū))的的噪聲級(空態(tài))不應大于65dB(A),
1.2非單向流潔凈室(區(qū))的噪聲級(空態(tài))不應大于60dB(A)。
河南無塵車間裝修施工
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無塵車間技術(shù)要求規(guī)范
1、噪聲要求
1.1單向流和混合流潔凈室(區(qū))的的噪聲級(空態(tài))不應大于65dB(A),
1.2非單向流潔凈室(區(qū))的噪聲級(空態(tài))不應大于60dB(A)。河南無塵車間裝修施工
2、消防要求
2.1 按火災危險性分類,甲、乙類的房間與相鄰的生產(chǎn)區(qū)段或房間之間,或有防火分隔要求時,應設隔墻;
3、 物料凈化用室與潔凈室(區(qū))之間應設置氣閘室或傳遞窗。
4、 潔凈室(區(qū))內(nèi)設置真空泵時,應符合下列規(guī)定:
4.1 使用油潤滑的真空泵應設置除油裝置,除油后尾氣應排入排氣系統(tǒng);
4.2 對傳輸含有可燃氣體的真空泵,可燃氣體濃度超過爆炸下限的20%時,應設尾氣處理裝置,在排入排氣系統(tǒng)前應去除或稀釋可燃氣體組分;
4.3 傳輸易燃、自燃化學品或高濃度氧氣的真空泵,應采用不燃泵油,并應配置氮氣吹掃。氮氣吹掃控制閥應與生產(chǎn)工藝設備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。
5、 潔凈廠房的耐火等級不應低于二級。
5.1在綜合性廠房的一個防火分區(qū)內(nèi),凈生產(chǎn)區(qū)域與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應設置不燃燒體隔斷設施。不燃燒體隔斷設施應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。
5.2 潔凈廠房的安全出口的設置,應符合下列規(guī)定;
1 每一生產(chǎn)層、每個防火分區(qū)或每一潔凈室的安全出口數(shù)目,應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定
2 安全出口應分散布置,并應設有明顯的疏散標志;安全疏散距離應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。安全疏散用門應向疏散方向開啟,并應設觀察玻璃窗;
3 丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房,在關(guān)鍵生產(chǎn)設備自帶火災報警和滅火裝置以及回風氣流中設有靈敏度嚴于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災報警探測系統(tǒng)后,安全疏散距離可按工藝需要確定,但不得大于本條第2款規(guī)定的安全疏散距離的1.5倍。
注:對于玻璃基板尺寸大于1500mm×1850mm 的TFT-LCD廠房,且潔凈生產(chǎn)區(qū)人員密度小于0.02人/㎡,其疏散距離應按工藝需要確定,但不得大于120m。
5.3 潔凈廠房的潔凈區(qū)各層外墻應設置消防口,并應符合下列規(guī)定:
1 潔凈區(qū)各層消防口的設計,應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定;
2 潔凈廠房外墻上的吊門、電控自動門以及裝有柵欄的窗,均不應作為消防口。
5.4潔凈廠房內(nèi)有爆炸危險的房間應靠建筑外墻布置,且不得與疏散安全口(樓梯間)貼鄰。有爆炸危險的房間的防爆措施、泄爆面積等應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。
6、 潔凈廠房的建筑圍護結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修,應選用氣密性良好,且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。裝修材料的燃燒性能應符合現(xiàn)行國家標準《建筑內(nèi)部裝修設計防火規(guī)范》GB 50222的有關(guān)規(guī)定。裝修材料的煙密度等級不應大于50,材料的煙密度等級應符合現(xiàn)行國家標準《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗方法》GB/T8627的有關(guān)規(guī)定。
7、潔凈室(區(qū))與周圍的空間應保持一定的靜壓差,靜壓差應符合下列規(guī)定:
1 各潔凈室(區(qū))與周圍空間的靜壓差應按生產(chǎn)工藝要求確定;
2 不同等級的潔凈室(區(qū))之間的靜壓差應大于等于5Pa;
3 潔凈室(區(qū))與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差應大于5Pa;
4 潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差應大于10Pa。
8、 空氣潔凈度等級嚴于8級的潔凈室(區(qū))不應采用散熱器采暖。
9、
1 應防止室外氣流倒灌;
2 含有易燃、易爆物質(zhì)的局部排風系統(tǒng)應按其物理化學性質(zhì)采取相應防火防爆措施;
4 對含有水蒸汽或凝結(jié)物質(zhì)的排風系統(tǒng),應設置坡度及排放口;
5 排風介質(zhì)中含有害物質(zhì)時,應設置備用排風機和處理設備,并應設置應急電源;
6 排風介質(zhì)中含易燃、易爆等危險物質(zhì)或工藝可靠性要求較高時,應設置備用排風機,并應設置應急電源;
7 排除有爆炸危險的氣體和粉塵的局部排風系統(tǒng),其風量應按在正常運行和事故情況下,風管內(nèi)爆炸危險的氣體和粉塵的濃度不大于爆炸下限的20%計;
8 排除有爆炸危險的氣體和粉塵的局部排風系統(tǒng),應設置消除靜電的接地裝置。
10、 對排風系統(tǒng)中含有毒性、爆炸危險性物質(zhì)的排氣管路,應保持相對于路由區(qū)域一定的負壓值。
11、潔凈室(區(qū))事故排風系統(tǒng)的設計,應符合下列規(guī)定:
1 事故排風區(qū)域的換氣次數(shù)不應小于12次/h;
2 應設置自動和手動控制開關(guān)、手動控制開關(guān)應分別設置在潔凈室(區(qū))和潔凈室(區(qū))外便于操作的地點;
3 應設置應急電源。
7.6.1 潔凈廠房中的疏散走廊,應設置機械排煙設施。
7.7.2 凈化空調(diào)系統(tǒng)的風管的防火閥的設置,應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。
含有可燃、有毒氣體或化學品的排風管道,不得設置熔片式防火閥。
7.7.7
2 排煙系統(tǒng)的風管應采用不燃材料制作;
3 附件、保溫材料和消聲材料等均應采用不燃材料或難燃材料。
8.3.1 生產(chǎn)、生活排水系統(tǒng)應分別設置。生產(chǎn)排水系統(tǒng)應根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)設備排出的廢水性質(zhì)、污染物濃度和水量等特點確定。有害廢水應經(jīng)廢水處理達到國家或地方排放標準后排放。
8.3.2 潔凈室(區(qū))內(nèi)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)設備相連接的重力排水管道,應在排出口以下部位設置水封裝置。排水系統(tǒng)應有完善的通氣系統(tǒng)。
8.5.1 潔凈廠房必須設置消防給水系統(tǒng)。消防給水系統(tǒng)的設置應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。
8.5.2
1 潔凈室(區(qū))的生產(chǎn)層及上下技術(shù)夾層(不含不通行的技術(shù)夾層),應設置室內(nèi)消火栓;
8.5.3
3 存放可燃氣體鋼瓶的特氣柜中應設置自動滅火設施。
9.2.3
3 不循環(huán)支管的長度不應大于管徑的6倍;
4 干管應設置清洗口;
12、潔凈室(區(qū))內(nèi)應設備用照明;
12.2.4 潔凈廠房內(nèi)應設置供人員疏散用的應急照明,其照度不應低于5.0lx。在安全出入口、疏散通道或疏散通道轉(zhuǎn)角處應設置疏散標志。在消防口應設置紅色應急照明指示燈。
12.3.2 潔凈廠房應設置火災自動報警系統(tǒng),其防護等級應符合現(xiàn)行國家標準《火災自動報警系統(tǒng)設計規(guī)范》GB 50116的有關(guān)規(guī)定。當防火分區(qū)面積超過現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB 50016規(guī)定的大建筑面積允許值時,保護等級應為一級。
12.3.4
1 潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術(shù)夾層、機房、站房等均應設置火災探測器,其中潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術(shù)夾層應設置智能型探測器;
3 硅烷儲存、分配間(區(qū)),應設置紅外線—紫外線火焰探測器;
12.4.4 凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時,電加熱器與風機應聯(lián)鎖控制,并應設置無風、超溫斷電保護;當采用電加濕器時,應設置無水、無風斷電保護。
13.2.1
2 防靜電地面的表層應采用靜電耗散性材料,靜電耗散性材料表面電阻率應為2.5× ~1×?;
3 防靜電地面應設置導靜電泄放設施和接地連接,其地面對地泄放電阻值應為1×~1× ?。
13.3.4對電子產(chǎn)品生產(chǎn)工程中產(chǎn)生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉體管道應采取防靜電接地措施,其中有爆炸和火災危險的設備、管道應符合現(xiàn)行國家標準《爆炸和火災危險環(huán)境電力裝置設計規(guī)范》GB 50058的有關(guān)規(guī)定。河南無塵車間裝修施工