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詳細介紹
潔凈室的發展與現代工業、*技術密切聯系在一起。由于精密機械工業（如陀螺儀、微型軸承等加工）、半導體工業（如大規模集成電路生產）等對環境的要求，促進了潔凈室技術的發展。國內曾統計過，在無潔凈級別的要求的環境下生產MOS電路管芯的合格率僅10%~15%，64為儲存器僅2%。目前在精密機械、半導體、宇航、原子能等工業中應用潔凈室已相當普遍。潔凈室系指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數根據需要都進行控制的密閉性較好的空間。濟源無塵車間
二、 氣流組組織和送風量
1、氣流組織的選擇，應符合下列要求：
一、潔凈工作區的氣流速度，應滿足空氣潔凈度和人體健康的要求，并應使潔凈工作區氣流流向單一。濟源無塵車間
二、回風口宜均勻布置在潔凈室下部。
三、余壓閥宜設在潔凈室氣流的下風側，不宜設在潔凈工作區高度范圍內。
潔凈室的氣流組織和送風量，宜按表5.3.2選用。
亂流潔凈室的送風量，應取下列規定的大值；
一、為控制室內空氣潔凈度所需要的送風量。
二、按表5.3.2規定的送風量。
三、根據熱、濕負荷計算和稀釋有害氣體所需的送風量。
四、按空氣平衡所需要的送風量。
當生產工藝僅要求在潔凈室內局部工作區達到更高的空氣潔凈度時，其氣流組織設計應使潔凈氣流首先流經該工作區，或在潔凈室的不同區域形成不同氣流流型和空氣潔凈度等級的潔凈工作區，其型式可分別按圖5.3.4-1、5.3.4-2。
層流潔凈室內不宜設置潔凈工作臺；亂流潔凈室內可設置潔凈工作臺，但其位置應遠離回風口。 潔凈室內有局部排風裝置時，其位置應設在工作區氣流的下風側。
三、 空氣凈化處理
各等級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾。注1：100，000級空氣凈化處理，可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。 確定集中式或分散式凈化空氣調節系統時，應綜合考慮生產工藝特點和潔凈室空氣潔凈度等級、面積、位置等因素。凡生產工藝連續、潔凈室面積較大時，位置集中以及噪聲控制和振動控制要求嚴格的潔凈室，宜采用集中式凈化空氣調節系統。
凈化空氣調節系統設計應合理利用回風，凡工藝過程產生大量有害物質且局部處理不能滿足衛生要求，或對其他工序有危害時，則不應用回風。凈化空氣調節系統除直流式系統和設置值班風機的系統外，應采取防止室外污染空氣通過新風口參入潔凈室內的防倒灌措施。
空氣過濾器的選用布置和安裝方式，應符合下列要求：
一、初效空氣過濾器不應選用浸油式過濾器。
二、中效空氣過濾器宜集中設置在凈化空氣調節系統的正壓段。
三、高效空氣過濾器或亞高效空氣過濾器宜設置在凈化空氣調節系統末端。
四、中效、亞高效、高效空氣過濾器宜按額定風量選用。
五、阻力、效率相近的高效空氣過濾器宜設置在同一潔凈室內。
六、高效空氣過濾器安裝方式應簡便可靠，易于檢漏和更換。
送風機可按凈化空氣調節系統的總送風量和總阻力值進行選擇，中效、高效空氣過濾器的阻力宜接其初阻力的兩倍計算。凈化空氣調節系統如需電加熱時，應選用管狀電加熱器，位置應布置在高效空氣過濾器的上風側，并應有防火安全措施。
四、 局部排風系統在下列情況下，應單獨設置：
一、非同一凈化空氣調節系統。
二、排風介質混合后能產生或加劇腐蝕性、毒性、燃燒爆炸危險性。
三、所排出的有害物毒性相差很大。
潔凈室的排風系統設計，應采取下列措施：
一、防倒灌措施。
二、含有易燃、易爆物質局部排風系統的防火、防爆措施。
換鞋室、存外衣室、盥洗室、廁所和淋浴室等，應采取通風措施，其室內的靜壓值，應低于潔凈區。 潔凈室事故排風系統的換氣次數，應采用每小時15～20次。事故排風裝置的控制開關，應分別設在潔凈室和室外便于操作的地點，并應與凈化空氣調節系統聯鎖，其室內宜設報警裝置。
五、 風管和附件
風管斷面尺寸的確定，應考慮能對風管內壁進行清潔處理，并在適當位置設置密閉的清掃口。風管壁厚按附錄六選用。凈化空氣調節系統的新風管、回風總管，應設置密閉調節閥。送風機的吸入口處和需要調節風量處，應設置密閉調節閥。送風機的吸入口處和需要調節風量處，應設置調節閥。潔凈室內的排風系統，應設置調節閥、止回閥或密閉閥。總風管穿過樓板和風管穿過防火墻處，必須設置防火閥。
凈化空氣調節系統的風管和調節閥以及高效空氣過濾器的保護網、孔板和擴散孔板等附件的制作材料和涂料，應根據輸送空氣的潔凈要求及其所處的空氣環境條件確定。潔凈室內排風系統的風管、調節閥和止回閥等附件的制作材料和涂料，應根據排除氣體的性質及其所處的空氣環境條件確定。在中效和高效的空氣過濾器前后，應設置測壓孔。在新風管和送回風總管以及需要調節風量的支管上，應設置風量測定孔。排除腐蝕性氣體的風管，可采用塑料風管，其他風管以及風管的保溫和游泳場材料及其粘結劑，應采用非燃燒材料或難燃燒材料。
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