傳感器heihenhain品牌LIDA 系列
LIDA敞開式直線光柵尺特別適合運動速度達10 m/s的高速運動應用，支持多種安裝方式，安裝特別簡單。根據相應應用要求，METALLUR光柵的基體可為鋼帶，玻璃或玻璃陶瓷。也有限位開關。
敞開式直線光柵尺設計用于對測量精度要求*的機床和系統。
典型應用包括：
半導體業的測量和生產設備
PCB電路板組裝機
超高精度機床

傳感器heihenhain品牌LIDA 系列
LIDA敞開式直線光柵尺特別適合運動速度達10 m/s的高速運動應用，支持多種安裝方式，安裝特別簡單。根據相應應用要求，METALLUR光柵的基體可為鋼帶，玻璃或玻璃陶瓷。也有限位開關。
敞開式直線光柵尺設計用于對測量精度要求*的機床和系統。
典型應用包括：
半導體業的測量和生產設備
PCB電路板組裝機
超高精度機床

直線光柵尺測量直線軸位置，沒有任何其
它機械傳動件。有效避免多個潛在誤差源
的影響：
• 滾珠絲杠發熱導致的定位誤差
• 反向誤差
• 滾珠絲杠螺距誤差導致的運動特性誤差
因此，直線光柵尺是需要高定位精度和高
速加工的機床*的基礎性技術。
敞開式直線光柵尺廣泛用于需要*測量

傳感器heihenhain品牌LIDA 系列
精度的機器設備。典型應用包括：
• 半導體工業的測量和生產設備
• PCB電路板組裝機
• 超精密機床和設備，例如加工光學器件
的金剛石刀具，加工磁盤的端面車床和
加工鐵氧體元件的磨床
• 高精度機床
• 測量機和比較儀、測量顯微鏡和其它
精密測量設備
• 直驅電機
機械結構
敞開式直線光柵尺包括光柵尺或鋼尺帶和
讀數頭，光柵尺和讀數頭間無機械接觸。
敞開式直線光柵尺的尺帶固定在安裝面
上。因此，為確保直線光柵尺的高精度，
必須確保安裝面平面度達到高標準

超高精度 LIP敞開式直線光柵尺的突出特點是極小 測量步距、高精度和高重復精度。掃描方 式為干涉掃描，測量基準為OPTODUR相 位光柵。 高精度 LIF敞開式直線光柵尺采用干涉掃描原 理，測量基準為SUPRADUR光柵。其特點 是高精度和高重復精度，特別易于安裝， 并帶限位開關和回零軌。特殊型號的LIF 481 V可用于真空度達10–7毫巴的高真空度 應用（參見其單獨的“產品信息”資料）。 高運動速度 LIDA敞開式直線光柵尺設計用于高速運 動，1313高速度達10 m/s。多種安裝方式使 其特別易于靈活地部署。多種版本可供選 擇，例如鋼尺帶、玻璃或玻璃陶瓷基體的 METALLUR光柵。也可帶限位開關。 二維光柵尺 PP二維光柵尺的測量基準為干涉掃描的、 由DIADUR工藝制造的平面二維光柵。因 此可測量平面中的位置。 用在真空環境中的光柵尺 海德漢的標準光柵尺適用于一般或中等真 空應用。如果用于高真空和超高真空環境 中，光柵尺必須滿足特殊要求。在選擇光 柵尺的結構設計和材質中，必須特別滿足 這些條件的要求。更多信息，請參見真空 應用的直線光柵尺“技術信息”資料。 以下敞開式直線光柵尺于高真空度或 超高真空度的應用： • 高真空度：LIP 481V和LIF 481V • 超高真空度：LIP 481U 更多信息，請參見相應的“產品信息