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真空滅弧室的外殼用玻璃或陶瓷緣材料制成，內部的真空度通常在0.01Pa以上。
由于殼內的空氣少，觸頭開距可以做得很小，電弧也較容易被熄滅。
觸頭材料般用銅、銻、鋨等合金制成。
滅弧室內屏蔽罩的作用是，當分斷電流時，凝結觸頭間隙中擴散出來的金屬蒸汽，
有助于熄弧，還可以防止金屬蒸汽濺落到緣外殼上降低其緣強度。
動觸頭與外殼下端用波紋管

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真空接觸器是否有故障，可以根據其能否準確無誤地合閘、分閘并地保持在合閘、分閘位置來判斷。
主回路方面的故障，可以從接觸器例行的檢修和維護中發現并排除。
主要的常見故障原因分析如下：
不能儲能：不能儲能是真空接觸器較常見的故障之，特別是棘輪、棘爪驅動的儲能機構，故障概率較高。
儲能機構要完成儲能動作，主要取決于儲能電動機、驅動機構、定位件這3 個環節。
緊緊抓住這3 個環節，很容易找出故障的癥結。
無合閘動作：發生無合閘動作故障，主要與合閘電磁鐵是否吸合、儲能是否到位、定位件動作是否正常有關。
空合：有合閘動作但合不上閘稱之為空合。在分析此類故障時，應從合閘保持(鎖扣)入手分析，然后再分析是否與儲能部分有關。

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不分閘：在此需強調指出，接觸器發生拒動、空合等情況時，在分析檢修接觸器主體之前，
要充分判斷下原因是否出在控制及二次元件如輔助開關、端子排等方面，然后再進行接觸器的分析診斷。
真空接觸器主要由真空滅弧室和操作機構組成。
真空滅弧室具有通過正常工作電流和頻繁切斷工作電流時滅弧兩個作用。
但不能切斷過負荷電流和短路電流。操作機構是由帶鐵芯的吸持線圈和銜鐵構成。
線圈通電，吸引銜鐵，接觸器閉合；線圈失電，接觸器斷開。吸持線圈般有直流和交流兩種形式。

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