產品簡介
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寶德氣動(上海)有限公司 |
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8742系列BURKERT質量流量控制器用于對于氣體或者液體的質量流量進行精密測量和控制。擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設備,光纖熔煉,微反應裝置,混氣配氣系統,毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。冶金,制藥等。特點:精度高,重復性好。
8742系列BURKERT質量流量控制器/測量儀設計用于 büS 或 CANopen 通訊。büS 網絡技術以 CAN 物理設施為基礎,是 Bürkert 專門針對具有多個控制段,通過工業以太網或其他現場總線運行的應用而開發出的技術。與 ME2X 型系統控制單元 (SCU,System Control Unit) 組合使用,可以將信息傳輸給客戶的現場總線,從而實現以 CANopen 為基礎的通信。質量流量控制器 (MFC)/ 質量流量計(MFM) 可以隨時在 büS 和 CANopen 通信之間切換。因此,8742 型設備可以直接集成到現有的 CANopen 網絡中。8742 型設備可以根據需要配置為 MFM 或 MFC。可以針對兩種不同的氣體進行校準。熱式 MEMS 傳感器直接位于氣流中,反應速度極快。Bürkert 生產的直動式比例閥具有*的響應靈敏度。集成 PI 控制器,令 MFC 具備的控制特性。防護等級和防爆等級高,使得8742系列BURKERT質量流量控制器尤其適用于惡劣的應用環境。
8742系列BURKERT質量流量控制器參數
標稱流量范圍:0.010 lN/min 至 80 lN/min
測量精度和重復性高
防護等級 IP65
基于 CANopen 的現場總線通信能力
可選:ATEX II 類別 3G/D
8742系列BURKERT質量流量控制器用于對于氣體或者液體的質量流量進行精密測量和控制。擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設備,光纖熔煉,微反應裝置,混氣配氣系統,毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。冶金,制藥等。特點:精度高,重復性好。
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