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HORIBA質(zhì)量流量計(jì)的基本特點(diǎn)
Horiba 質(zhì)量流量控制器 SEC-N100系列
1、直接測量管道內(nèi)流體的質(zhì)量流量：
2、工作穩(wěn)定可靠：
3、適應(yīng)的流體介質(zhì)面寬：
4、廣泛的應(yīng)用環(huán)境：
5、多種實(shí)時在線測控功：
6、可擴(kuò)展性好：

特征

大范圍控制，從微小流量至大量程，10SCCM~1000SLM
多種通訊方式及電源供給

Horiba 質(zhì)量流量控制器 SEC-N100系列

n數(shù)字式/ 模擬式通信

lRS-485/DeviceNet/Profibus/模擬式（電流/電壓）

l可與其它系列產(chǎn)品兼容

n復(fù)合氣體 / 復(fù)合量程

l可以方便的在客戶端更改對應(yīng)氣體和量程

n高精度控制： ±1.0% 設(shè)定流量.

l選用與SEC-Z500系列相同的sensor和bypass.

n快速響應(yīng)：在可控流量范圍內(nèi),響應(yīng)時間≦1 sec

l內(nèi)置PID參數(shù)，可以調(diào)整響應(yīng)時間

n氣閥種類

l 電磁閥 (~50SLM)

l 壓電陶瓷閥 (100/200SLM)

n密封圈材質(zhì) ：橡膠或金屬

n氣路表面：未經(jīng)拋光處理

n接口：僅有VCR接口

nRoHS要求：滿足RoHS要求

Horiba 質(zhì)量流量控制器 SEC-N100系列

型號	選擇通訊方式	選擇供電方式
SEC-N102 系列	數(shù)字式信號傳輸 ?RS485 F-NET協(xié)議模擬式通訊 ?0～5VDC	HORIBA可提供PE系列供應(yīng)電源
SEC-N104 系列	DeviceNet™ 通訊	符合ODVA標(biāo)準(zhǔn)
SEC-N105 系列	CC-Link®通訊模擬式通訊 ?0 to 5VDC, 0 to 10VDC　4 to 20mA	符合 CC-Link®標(biāo)準(zhǔn) 24VDC(13 ~ 32VDC)
SEC-N106系列	PROFIBUS™ 通訊方式	符合PROFIBUS™ 標(biāo)準(zhǔn) 24VDC(13 to 32VDC)
	模擬式通訊
	?0 to 5VDC, 0 to 10VDC　4 to 20mA
SEC-N107系列	EtherCAT® 通訊方式	符合EtherCAT®標(biāo)準(zhǔn) 24VDC ± 4V

高精度：±1.0% S.P. (*1)
1秒內(nèi)快速響應(yīng) (*1)
多氣體，多量程解決方案

(*1)包括SEC-N17XR

多氣體，多量程的功能可使用軟件方便的更改MFC的氣體或滿量程流量。

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