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9J光切法顯微鏡
主要技術參數：
1、測量表面光潔度范圍：▽3-▽9(相當不平度0.8-80um)
2、表面光潔度（級別）：9、8-7、6-5、4-3
3、所需物鏡：60倍N.A.0.55、30倍N.A.0.40、 14倍N.A.0.20、7倍N.A.0.12
4、總放大倍數：510X、260X、120X、60X
5、物鏡組件工作距離(mm):0.04、0.2、2.5、9.5
6、視場（mm）:0.3、0.6、1.3、2.5
7、不平寬度：用測微目鏡：0.7微米~2.5毫米
用座標工作臺：（0.01~13）毫米
8、儀器重量約： 23公斤
9J光切法顯微鏡
用途：
具有相同頻率、相同的振動方向和恒定相位差的光線，在空間疊加會發生干涉現象，這就是光波的干涉原理。利用光波的干涉原理和顯微鏡非接觸檢測特點對試樣表面上高度極微小差別進行測量。
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