HORIBA 一鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀的主要特點(diǎn)

1. 液晶調(diào)制技術(shù)，無機(jī)械轉(zhuǎn)動(dòng)部件，重復(fù)性，信噪比高

2. 技術(shù)成像系技術(shù)，所有樣品均可成像，對(duì)于透明樣品,自動(dòng)去除樣品的背反射信號(hào),使得數(shù)據(jù)分析更簡(jiǎn)單.

3. 反射式微光斑，覆蓋全譜段，利于非均勻樣品圖案化樣品測(cè)試

4. 全自動(dòng)集成度高，安裝維護(hù)簡(jiǎn)便

5. 一鍵式操作軟件，快速簡(jiǎn)單

6. 自動(dòng)MAPPING掃描，分析樣品鍍膜均勻性

HORIBA 一鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀的技術(shù)參數(shù)

1. 光譜范圍：450-1000 nm

2. 多種微光斑自動(dòng)選擇

3. 光斑可視技術(shù)，可觀測(cè)任何樣品表面

4. 自動(dòng)樣品臺(tái)尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自動(dòng)調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm

5. 70度角入射

6. CCD探測(cè)器