Profilm3D 光學(xué)輪廓儀

低成本 – 高精度

Filmetrics讓3D光學(xué)輪廓測(cè)量的價(jià)格變得更加能夠接受。Profilm3D使用的垂直干涉掃描(WLI)與高精度的相位干涉(PSI)技術(shù)。以優(yōu)勢(shì)的價(jià)格實(shí)現(xiàn)次納米級(jí)的表面形貌研究。

100mm自動(dòng)XY樣品臺(tái)

您還在位每人都希望要的功能而支付額外的費(fèi)用嗎？我們現(xiàn)在每臺(tái)Profilm3D都將100mm自動(dòng)XY樣品臺(tái)，4孔物鏡轉(zhuǎn)臺(tái)和手動(dòng)調(diào)平裝置作為標(biāo)準(zhǔn)配置。

超大的視場(chǎng)范圍

Profilm3D僅用10倍物鏡就提供了達(dá)到2mm的超大視場(chǎng)范圍，同時(shí)其4倍光學(xué)變焦的功能緩解了不同應(yīng)用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需求。這些都進(jìn)一步降低了采購(gòu)成本。

1 特征值

2 8 μm 臺(tái)階高度

3 度是指每天測(cè)量30次10um臺(tái)階高度標(biāo)樣的1次標(biāo)準(zhǔn)差，連續(xù)成功測(cè)量20天的平均值。環(huán)境溫度穩(wěn)定性小于 1°C。

穩(wěn)定性是指連續(xù)成功測(cè)量10um臺(tái)階高度標(biāo)樣20天，取每天測(cè)量30次數(shù)值的平均值，計(jì)算2倍標(biāo)準(zhǔn)差。環(huán)境溫度穩(wěn)定性小于 1°C。

4 所有變焦縮放后的有效像素為648 x 484 (通過(guò)數(shù)位化的pixel binning實(shí)現(xiàn))

5 分開銷售

6 樣品上投影的像素大小

7 樣品表面粗糙時(shí)可測(cè)傾角將大