F60薄膜厚度測量儀

生產環境的自動測繪

Filmetrics F60-t 系列就像我們的 F50產品一樣測繪薄膜厚度和折射率，但它增加了許多用于生產環境的功能。 這些功能包括凹槽自動檢測、自動基定、全封閉測量平臺、預裝軟件的工業計算機，以及升級到全自動化晶圓傳輸的機型。

不同的 F60-t 儀器根據波長范圍加以區分。 較短的波長 (例如， F60-t-UV) 一般用于測量較薄的薄膜，而較長的波長則可以用來測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。

選擇Filmetrics的優勢

• 桌面式薄膜厚度測量

• 24小時電話，郵件和在線支持

• 所有系統皆使用直觀的標準分析軟件

附加特性

• 嵌入式在線診斷方式

• 免費離線分析軟件

• 精細的歷史數據功能，幫助用戶有效存儲，重現與繪制測試結果