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On-line在線薄膜厚度檢測方案
閱讀：2005 發布時間：2019-6-20簡 介
優尼康科技有限公司（UNICORN TECHNOLOGY CO., LTD.）成立于2012年11月，注冊于中國香港， 是翌穎科技(上海)有限公司的子公司。
翌穎科技(上海)有限公司主要為半導體、新能源企業和高校及研發中心提供各類精密進口制程及測量設備。提供的一對一*，技術支持，備件管理和咨詢服務。
Filmetrics方案推廣商，具備方案定制，改造升級，本土化維護，與備件庫的方案提供商，是Filmetrics 中國區售后服務中心
什么是Parylene ?
聚對二甲（Poly－para－ xylylene；簡稱（ parylene）是一種高分子聚合物，在中國又稱為＂派瑞林”。
Parylene是六十年代中期美國 Union Carbide Co．開發應用的一種新型敷形涂 層材料根據分子結構的不同， Parylene可分為N型、C型、D型、HT型等多種類型。
常用派瑞林材料基本特性
(1):派瑞林C粉防水, 防腐性比N粉強30%,耐電壓低于N粉, C粉適用于PCBA.
(2): 派瑞林N粉耐電壓高防水, 防腐性能低于C粉, 適用于微型電機矽鋼片等.
(3): 派瑞林HT-2粉, 防水, 防腐, 耐電壓都比C-N粉各項性能提高了15%左右, 是在C-N粉基礎上提升起來的,己經代替了C-N粉生產用途.
(4): 派瑞林(F-VT4)-(F-AF4) 粉, 防紫外線強應用于戶外產品, 材料成本偏高客戶暫時很難接受單價.
什么是Parylene C?
Parylene C 是系列中第二個具有商業價值的成員。它由相同的單體制成，只是將其中一個芳香烴氫原子用一個氯原子所取代了。
綜合了優良的介電性能和物理機械性能，對潮濕和腐蝕性氣體有低的滲透性。
可以提供真正的無針孔覆形隔離。滿足美軍標MIL-46058C,是涂敷重要電路板的材料。符合ISO-10993生物試驗要求。符合UDP第六類塑料的生物試驗要求.
Parylene 特性
Parylene沈積可以經由活潑的單體（ monomer）氣體，聚合于物體表面上，而不同于一般常見經由液體涂層的方法制備。
其活性分子在被涂裝的對象表面生成*披覆的聚合物薄膜，可涂裝到任何形狀的表面面，且不產生死角，包括括尖銳的棱角、隙縫內部與極細微的針孔中，
膜厚可一致性的被覆在產品的任何部位，薄膜厚度由1um－50um，是極薄的涂裝之一。
Parylene 行業應用
Parylene制程工藝介紹
Parylene采用化學氣相沉積工藝（CVD）。
配積過程分為三步驟：
1．真空條件下, 以120℃將固態粉末狀的對二甲苯的二聚物 (di-para-xylylene; dimer) 加熱汽化;
2．以650℃ 將氣態的對二甲苯的二聚物 ,裂解為對二甲苯 (para-xylylene) 的 活性單體(monomer);
3．氣態活性單體在室溫下沉積并聚合成聚對二甲苯 (Poly-para-xylylene )的薄膜。
Parylene 制程設備生產管控三要素
Parylene 產品不良的3種特征
Parylene
日本高分子材料公司吉世科(KISCO)于1月7日宣布收購美國特種涂層公司Specialty Coating Systems(SCS)。
兩家同為行業，吉世科在聚對二甲苯市場已深耕18年，在材料科學與研發上擁有很深的背景，而SCS與聚對二甲苯的誕生頗有淵源，
是聚對二甲苯市場的銷售商。
生產過程中容易出現的問題及監管
問題：
1 .鍍膜過程材料分解純度不夠 （缸體內壓力控制 ，到時厚度均勻性差
2. 材料在缸體停留時間過長 ，導致產品發白
3. 產品缸內擺涉及原材料氣相流動，也會對產品的厚度均勻性產生影響
4. 生產過程中堵缸，產品膜厚不增長
5. 擋風板結構設計很重要，不合理會殘留材料會導致送料管堵塞
溫度，壓力管控 、厚度在線監控
產品發白，發藍，產品附著力差、膜厚不均勻.
Filmetrics –在線測量的優勢
快、準、省
無損，非接觸式測量、預警
1.生產產品過程監控—實時反饋生產數據，提高產品品質
2.提高生產效率— 設定生產指標 ，報警提示
3.節省材料成本— 縮小產品指標公差，材料節省可見
4.減少人工成本— 監控室直接在線數據監管
5.堵缸、停缸監控— 節省材料，與人工挽救不良率
6.給產品設定的厚度范圍
7.方便不同產品工藝的調整
8.經過客戶實際生產測算，7個缸體工作，一年節省15%~50% 材料與人工支出,良品率 的提升由56% 提升到 86~95%.
Filmetrics –生產過程在線監控與測量的生產線布置示意圖
Unicorn–產品全檢在線測量方案
F32 --測量原理
Filmetrics –在線測量產品介紹
快、準、省
離線式手動檢測
