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產品簡介
詳細介紹
EX3自動橢圓偏振測厚儀是基于消光法（或稱“零橢偏”）測量原理，針對納米薄膜厚度測量領域推出的一款自動測量型教學儀器。與EM22儀器相比，該儀器采用半導體激光器作為光源，穩定性好，體積更小。
EX3儀器適用于納米薄膜的厚度測量，以及納米薄膜的厚度和折射率同時測量。
EX3儀器還可用于同時測量塊狀材料（如，金屬、半導體、介質）的折射率n和消光系數k。
特點
- 經典消光法橢偏測量原理
儀器采用消光法橢偏測量原理，易于操作者理解和掌握橢偏測量基本原理和過程。
- 方便安全的樣品水平放置方式
采用水平放置樣品的方式，方便樣品的取放。
- 緊湊的一體化結構
集成一體化設計，簡潔的儀器外形通過USB接口與計算機相連，方便使用。
- 高準確性的激光光源
采用激光作為探測光波，測量波長準確度高。
- 豐富實用的樣品測量功能
可測量納米薄膜的膜厚和折射率；塊狀材料的復折射率、樣品反射率、樣品透過率。
- 便捷的自動化操作
儀器軟件可自動完成樣品測量，并可進行方便的測量數據分析、儀器校準等操作。
- 安全的用戶使用權限管理
軟件中設置了用戶使用權限（包括：管理員、操作者等模式），便于儀器管理和使用。
- 可擴展的儀器功能
利用本儀器，可通過適當擴展，完成多項偏振測量實驗，如馬呂斯定律實驗、旋光測量實、旋光等。
應用
EX2適合于教學中單層納米薄膜的薄膜厚度測量，也可用于測量塊狀材料的折射率n和消光系數k。
EX2可測量的樣品涉及微電子、半導體、集成電路、顯示技術、太陽電池、光學薄膜、生命科學、化學、電化學、磁質存儲、平板顯示、聚合物及金屬表面處理等領域。
技術指標
項目 | 技術指標 |
儀器型號 | EX2 |
測量方式 | 自動測量 |
樣品放置方式 | 水平放置 |
光源 | He-Ne激光器，波長632.8nm |
膜厚測量重復性* | 0.5nm (對于Si基底上100nm的SiO2膜層) |
膜厚范圍 | 透明薄膜：1-4000nm 吸收薄膜則與材料性質相關 |
折射率范圍 | 1.3 – 10 |
探測光束直徑 | Φ2-3mm |
入射角度 | 30°-90°，精度0.05° |
偏振器方位角讀數范圍 | 0-360° |
偏振器步進角 | 0.014° |
樣品方位調整 | Z軸高度調節：16mm 二維俯仰調節：±4° |
允許樣品尺寸 | 樣品直徑可達Φ160mm |
配套軟件 | * 用戶權限設置 * 多種測量模式選擇 * 多個測量項目選擇 * 方便的數據分析、計算、輸入輸出 |
zui大外形尺寸 | 約400*400*250mm |
儀器重量（凈重） | 約20Kg |
選配件 | * 半導體激光器 |
注：(1)測量重復性：是指對標準樣品上同一點、同一條件下連續測量30次所計算的標準差。