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產品簡介
詳細介紹
聲明：
EX1手動橢圓偏振測厚儀是基于消光法（或稱“零橢偏”）橢偏測量原理，針對納米薄膜厚度測量領域推出的一款手動教學儀器。
EX1 儀器適用于納米薄膜的厚度測量、以及納米薄膜的厚度和折射率測量。
EX1儀器還可用于測量塊狀材料（如，金屬、半導體、介質）的折射率n和消光系數k。
特點
- 消光法橢偏測量原理
儀器采用消光法橢偏測量原理，易于操作者理解和掌握橢偏測量基本原理和過程。
- 方便的樣品水平放置方式
采用水平放置樣品，方便樣品取放。
- 精巧的一體化結構
集成一體化設計，精巧的儀器外形，方便地顯示儀器測量過程中的光強信息。
- 高準確性的激光光源
采用激光作為探測光波，測量波長準確度高。
- 實用的樣品測量功能
可測量納米薄膜的膜厚和折射率、塊狀材料的復折射率。
- 方便的儀器手動操作
手動完成測量，儀器軟件輔助進行測量數據的分析。
- 可擴展的儀器功能
利用本儀器，可通過適當擴展，完成多項偏振測量實驗，如馬呂斯定律實驗、旋光測量實、旋光等。
應用
EX1適合于教學領域，適用于單層納米薄膜的薄膜厚度測量，也可用于測量塊狀材料的折射率n和消光系數k。
EX1可測量的樣品涉及微電子、半導體、集成電路、顯示技術、太陽電池、光學薄膜、生命科學、化學、電化學、磁質存儲、平板顯示、聚合物及金屬表面處理等領域。
技術指標
項目 | 技術指標 |
儀器型號 | EX1 |
測量方式 | 手動 |
樣品放置方式 | 水平放置 |
光源 | He-Ne激光器，波長632.8nm |
探測光束直徑 | Φ2-3mm |
入射角度 | 30°-90°，*.1° |
偏振器方位角讀數范圍 | 0-360° |
偏振器刻度 | 2°/格 |
偏振器zui小讀數 | 0.05° |
樣品方位調整 | Z軸高度調節：10mm 二維俯仰調節：±4° |
允許樣品尺寸 | 樣品直徑可達Φ80mm |
配套軟件 | * 多個測量項目選擇 * 測量數據分析、計算、輸入輸出 |
zui大外形尺寸 | 約400*400*250mm |
儀器重量（凈重） | 約20Kg |
選配件 | * 半導體激光器 |
注：(1)測量重復性：是指對標準樣品上同一點、同一條件下連續測量30次所計算的標準差。