等離子體增強MOCVD

等離子體增強MOCVD概述：

    MOVPE，也就是大名鼎鼎的MOCVD(金屬有機物化學氣相沉積), 針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發的臺式等離子輔助金屬有機化學氣相沉積系統(PA-MOCVD),該系統具有加熱的氣體管路、5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、950度樣品臺三個氣體環、PC全自動控制、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、 250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)，*的安全互鎖。

    目前，NANO-MASTER(那諾-馬斯特)的這項技術延伸到5個4"晶圓的立柜式獨立批處理系統，該系統可以集成到集群配置中以滿足高產量的要求。

等離子體增強MOCVD型號：

• 臺式系統
• 5個帶獨立冷卻槽的起泡器
• 加熱的氣體管路
• 950 °C樣品臺，2"晶圓片
• 3個氣體環
• RF等離子源，帶淋浴頭氣體分布
• 工藝完成后N2自動沖洗
• 極限真空5x10-7Torr
• 250 l/s的渦輪分子泵串接無油干泵
• 通過LabView軟件實現PC計算機全自動控制
• 菜單驅動，4級密碼訪問控制
• 完整的安全聯鎖

配置：

• 獨立系統
• 14"不銹鋼立方體腔體
• 1次在8"樣品臺上處理1個6"晶圓片或在12"樣品臺上處理5片4"片子
• 加熱的氣體管路
• RF等離子源，自動調諧
• 淋浴頭氣體分布
• 1100°C的旋轉樣品臺
• N2沖洗
• 手動或自動的晶圓片上下載
• 可以兼容到集群配置中

應用：

• 3到5族半導體層
• 藍色發光二極管
• 激光二極管
• 紫外-可見光譜光電中的氮化銦納米棒
• 3D或2D材料中的二硫化鉬、氮化硼、石墨烯