當前位置:北京恒遠安諾科技有限公司>> 專業銷售 英國CamScan Apollo300場發射掃描電子顯微鏡
電子光源 | 高亮度肖特基源的熱場發射電子槍 |
分辨率 | 1.0nm@25kV,<2.0nm@1kV,WD2mm(Through-lens detector) |
加速電壓 | 0.1kV – 30kV連續調節,步長100V |
放大倍數 | <10倍 至 >900,000倍,工作距離和高壓變化時進行*地補償 |
電子束流 | zui高可達100nA |
光欄選擇 | 6孔光欄,高精度點擊選擇 |
探測器 樣品室內二次電子探頭 Through -Lens探頭 樣品室內BSE探頭 | E-T探頭僅用于樣品室高真空操作,幾何位置可調整 DELPHI Through –Lens上位SE/BSE探頭 羅賓遜/4分割固體背散射電子探頭 |
真空系統 | TMP(渦輪分子泵)+2個離子泵,高壓和所有電子槍供給全部 與真空互鎖 |
樣品室尺寸 | 413mm寬x313mm深x313mm高. |
樣品臺移動 | 優中心6軸樣品臺. X=100mm,Y=100mm,(Y=150mm,選配),Z=50mm, Z’=10mm Tilt=-5~+90°, Rot=360° |
樣品臺載重 | 承載樣品的重量超過5公斤 |
樣品室接口 | 14個 |
防震系統 | 自動水平傳感器的氣墊裝置 |
自動特性 | 自動聚焦,消像散,亮度和對比度調整. 自動電子束對中.自動 電子束流檢測.真空檢測與調整 |
顯示器 | 雙顯示器,能形成雙幅橫向工作區 |
視頻獲取 圖像處理 | 6路優化像素噪音功能實現雙路獲取 樣品檢查模式帶有轉換/掃描圖像定位中心特性 全屏注釋和圖像測量功能 |
觸停報警裝置 | 標配 |
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可配附件 | |
EDS, WDS, EBSD, CL, STEM,電子束消隱裝置,激光定位儀,電子槍隔離閥, Fastrac, 光學顯微鏡,冷臺,熱臺,拉伸臺 |
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