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價格區間 | 面議 | 應用領域 | 醫療衛生,環保,化工,電子,綜合 |
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組件類別 | 光學元件 |
大功率飛秒激光光學
飛秒激光光學系統的涂層通常針對特殊的反射率,透射率和GDD光譜進行優化。對于大多數應用而言,此類涂層的激光誘導損傷閾值(LIDT)不太重要。盡管如此,高功率的fs激光器仍在研究之中,并且近年來fs激光器的輸出功率已大大提高(參見參考文獻1和其中的參考文獻)。因此,fs激光光學器件的LIDT變得越來越重要。LAYERTEC對fs和ps激光器的光學LIDT進行了詳細研究。如下表所示,我們發現標準光學,寬帶光學和超寬帶光學以及我們的高功率鏡的LIDT值存在很大差異。標準低GDD反射鏡的LIDT值為0.3J / cm2,而負GDD反射鏡,寬帶和超寬帶組件的LIDT約為0.1J / cm2。
我們的研究證明,飛秒激光光學器件的LIDT取決于涂層材料和涂層設計。標準低GDD組件和上述其他光學元件的LIDT值差異是由所使用的不同鍍膜設計導致的。尤其是寬帶和負GDD設計會導致較低的損壞閾值。只有標準的低GDD組件的設計才能達到更高的LIDT值。在所有這些情況下,均選擇具有高折射率對比度的材料以實現大帶寬。使用其他涂層材料可以實現更高的LIDT值。然而,由于這些折射率的對比度較低,因此由這些材料制成的反射鏡僅具有約80nm的帶寬。但是,該帶寬足以滿足低至150fs的脈沖長度的要求。所有大功率設計均針對GDD <20fs2進行了優化。
我們由于不同的材料組合和設計而區分了不同的高功率設計,這些材料組合和設計在制備涂層方面需要不同的努力,并且在機械性能方面也不同,例如層中的應力。這些涂層的光譜帶寬幾乎相同。一個示例如圖1所示。
還發現,LAYERTEC優化的銀鏡的LIDT值高于fs范圍內的標準組件。銀鏡之所以具有優勢,是因為其極寬的零GDD反射帶,在法向入射時的反射率高達98.5%。甚至具有規定透射率0.01%的銀鏡也顯示出比所有介電超寬帶組件更高的損傷閾值。有關銀鏡的更多信息,請參見此處。
1)E.Innerhofer,T.Südmeyer,F.Brunner,R.Häring,A.Aschwanden和R.Paschotta,C.Hönninger和M.Kumkar,U.Keller,“在810fs脈沖中,平均輸出功率為60W 薄盤Yb:YAG激光器”,《光學信函》第28卷,第5期,第367–369頁
*與漢諾威激光Zentrum和耶拿大學Friedrich-Schiller大學合作。大部分工作是在德國聯合項目PRIMUS的框架內完成的,該項目得到了聯邦技術與技術聯合會的支持。
介質大功率鏡
圖1:高功率fs激光鏡HR(0°,800nm)R> 99.9%的反射光譜
飛秒激光光學元件的激光誘導損傷閾值概述
Coating | reflectance | LIDT [J/cm2] | ||
50 fs | 150 fs | 1 ps | ||
Bare gold | 97.5 % | 0.33 | 0.33 | |
Fs-protected silver | 98.5 % | 0.38 | 0.38 | |
Enhanced silver (800 nm) | 99.7 % | 0.37 | ||
Enhanced silver (600 – 1200 nm) | 98.5 % | 0.24 | ||
partially transparent silver (T(800 nm) = 0.01%) | 98.5 % | 0.22 | ||
Negative dispersion mirrors | > 99.9 % | ∼ 0.10 | ||
Broadband low GDD mirrors | > 99.9 % | ∼ 0.10 | ||
Standard low GDD mirrors | > 99.9 % | 0.30 | 0.55 | |
High power mirror type A | > 99.9 % | 0.35 | 0.44 | 0.65 |
High power mirror type B | > 99.8 % | 0.75 | 1.04 | |
Single wavelength AR coating | < 0.2 % | 1.20** | ||
Broadband AR coating | < 0.5 % | 1.20** |
*測量條件:30000個脈沖,重復率1kHz,λ= 800nm; 測量是根據ISO 11254在Laser Zentrum Hannover和Friedrich-Schiller-UniversitätJena進行的
**自聚焦效果可能會在增透膜穩定的同時破壞基材
金屬大功率鏡
圖2:裸金和經fs優化的銀的反射光譜(針對800nm處的高反射率進行了優化)
大功率飛秒激光鏡的GDD
圖3:標準和大功率介電鏡以及受fs保護的銀鏡的群時延色散(GDD)