四探針電阻率測(cè)定儀 型號(hào): RTS-8
RTS-8型數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。
儀器由主機(jī)、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成,測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。
儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快、精度高、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。
四探針電阻率測(cè)定儀?技 術(shù) 指 標(biāo) :
電阻率:10-5~105 Ω.cm(可擴(kuò)展);
方塊電阻:10-4~106 Ω/□(可擴(kuò)展);
電導(dǎo)率:10-5~105 s/cm;
電阻:10-5~105 Ω;
可測(cè)晶片直徑 140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái));
200mmX200mm(配S-2B型測(cè)試臺(tái));
400mmX500mm(配S-2C型測(cè)試臺(tái));
恒流源 電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表 量程及表示形式:000.00~199.99mV;
分辨力:10μV;
輸入阻抗:>1000MΩ;
精度:±0.1% ;
顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;性、量程自動(dòng)顯示;
四探針探頭基本指標(biāo) 間距:1±0.01mm;
針間緣電阻:≥1000MΩ;
機(jī)械游移率:≤0.3%;
探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
探針壓力:5~16 牛頓(總力);
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) (見(jiàn)探頭附帶的合格證)
模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行) 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字
整機(jī)測(cè)量相對(duì)誤差 (用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±5%
整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 ≤5%
計(jì)算機(jī)通訊接口 并口
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 溫度:23±2℃;
相對(duì)濕度:≤65%;
無(wú)高頻干擾;
無(wú)強(qiáng)光直射;
產(chǎn)品名稱(chēng):氫氣發(fā)生器 氣體發(fā)生器 產(chǎn)品型號(hào):1803 |
氫氣發(fā)生器 氣體發(fā)生器 型號(hào):1803
1、安 全:低壓產(chǎn)氣,壓保護(hù),無(wú)危險(xiǎn),保證安全。
2、省 力:無(wú)運(yùn)輸鋼瓶之麻煩,省搬動(dòng)鋼瓶之勞苦。輕按開(kāi)關(guān)即可產(chǎn)氣,可間斷使用,可常年運(yùn)行
3、自控系統(tǒng):需氣流量,自動(dòng)跟蹤,無(wú)需調(diào)整,準(zhǔn)確可靠。
4、經(jīng) 濟(jì):耗電少,耗材省,成本低,經(jīng)濟(jì)實(shí)惠。
5、承 諾:整機(jī)保修一年,電解池保修三年。
性能指標(biāo)
氫氣純度:99.999%
氫氣流量:0-300ml/min
工作壓力:0--0.3Mpa
消耗功率:150W
電 壓:220V±10% 50 HZ
外形尺寸: 40x18x38(cm)
凈 重:9kg
設(shè)有筒式防過(guò)液裝置,全自動(dòng)操控系統(tǒng)。