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詳細介紹
系統不僅配置進的電子和離子光學系統，還采用了一系列進的技術，可實現簡單一致的高分辨率S/TEM和原子探針斷層掃描（APT）樣品制備，以及質量的內部和三維表征，即使在挑戰性的樣品上也表現出色。Helios G4 CX DualBeam系統的技術創新結合易于使用、面的 Thermo Scientific AutoTEM ™4軟件（可選）和專業的應用知識，可快速輕松地定位制備各類材料的高分辨S/TEM樣品。為了獲得高質量的結果，需要使用低能離子進行精拋，以大限度地減少樣品的表面損傷。Tomahawk聚焦離子束（FIB）鏡筒不僅可以在高電壓下進行高分辨率成像和刻蝕，而且具有良好的低電壓性能，可以制備高質量的TEM薄片。
產品特點
• Tomahawk離子鏡筒實現速、高質量、定位TEM和原子探針樣品制備。
• lstar電子鏡筒以短時間獲取納米尺度信息。
• 多達6個集成化鏡筒內及透鏡下探測器，采集優質、銳利、無荷電圖像，提供完整的樣品信息。
• 可選AS&V4軟件，精確定位感興趣區域，獲取質量、多模態內部和三維信息。
• 小于10nm復雜結構的快速、準確、精確刻蝕和沉積。
• 高度靈活的110 mm樣品臺和內置的Thermo Scientific Nav- Cam ™ 相機實現精確樣品導航。
• 集成化樣品清潔管理和的DCFI和Thermo Scientific SmartScan ™ 等模式實現無偽影成像。
參數
電子束
• 在工作距離下：
− 30kV下STEM 0.6nm
− 15kV下 0.6nm
− 1kV下 1.0nm
− 1kV下 電子束減速模式 0.9nm
• 在束重合點：
− 15kV下 0.6nm
− 1kV下 2.5nm
• 電子束流范圍：0.8pA–100nA
• 加速電壓范圍：200V-30kV
• 著陸能量范圍： 20eV-30keV
• 大水平視場寬度：4mm工作距離下為2.3mm
離子光學
• 大束流Tomahawk離子鏡筒
• 離子束流范圍：0.1pA–65nA
• 加速電壓范圍：500 V-30kV
• 兩級差分抽吸
• 飛行時間（TOF）校準
• 15 孔光闌
• 大水平視場寬度：在束重合點出為0.9mm
• 離子源壽命至少1,000小時
• 離子束分辨率（在重合點處）：
− 30kV下 4.0nm（采用統計方法）
− 30kV下 2.5nm（采用選邊法）
探測器
• Elstar 透鏡內SE/BSE 探測系統（TLD-SE、TLD-BSE）
• Elstar 鏡筒內SE/BSE 探測系統（ICD）
• Elstar 鏡筒內BSE 探測系統（MD）
• ETD–Everhart-Thornley 二次電子探測器
• 樣品室紅外CCD相機，用于樣品臺高度觀察
• ICE探測器-高性能離子轉換和電子探測器，用于采集二次電子和二次離子
• Nav-Cam ™ ： 樣品室內彩色光學相機，用于樣品導航
• DBS–可伸縮式低電壓、高襯度、固態背散射電子探測器
• STEM 3+ – 可伸縮分割式探測器(BF、DF、HAADF)
• 集成電子束流測量
樣品臺和樣品
• 靈活五軸電動樣品臺：
-XY范圍：110mm
- Z范圍：65mm
• 旋轉：360°（連續）
• 傾斜范圍：-15°到 +90°
• XY重復精度：3μm
• 大樣品高度：與優中心點間隔85mm
• 大樣品質量（0°傾斜）：2kg（包括樣品托）
• 大樣品尺寸：可沿X、Y軸*旋轉時直徑為110mm（若樣品超出此限值，則樣品臺行程和旋轉會受限）
• 同心旋轉和傾斜真空系統
• *無油的真空系統
• 樣品倉真空（高真空）：< 2.6 x 10 -6 mbar（24小時抽氣后），抽氣時間：< 5 分鐘樣品倉
• 電子束和離子束重合點在分析工作距離處（SEM 4mm）
• 端口：21個
• 內寬：379mm
• 集成等離子清洗
| 產品料號 | 產品貨號 | *產品名稱 | *產品規格 |
| TFE000049 | TFE000049 | Helios G4 CX DualBeam雙束顯微鏡 | Helios G4 CX DualBeam |
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