產品簡介
詳細介紹
KS-41B 理音RION液體粒子計數器
フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.1μmから測定可能
- 多點監視システムに接続可能
光學系方式 | 側方散亂方式 |
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光源 | 半導體レーザ勵起固體レーザ(波長532nm、定格出力500mW) |
接液部材質 | 合成石英、PFA |
粒徑區分 | 0.1μm~0.5μmの範囲で10段階(オプションで0.07μmから対応、純水などの透明な液體の場合) 出荷時:0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上、0.3μm以上、0.5μm以上の5段階 |
定格流量 | 5mL/min |
zui大粒子個數濃度 | 9,600個/mL(計數損失10%以內) |
電源 | DC12V(KE-40B1より供給) |
大きさ | 約164(H)×464(W)×305(D)mm(突起物を除く) |
重さ | 約12.5kg |