真空閥門是指在真空系統中,用來改變氣流方向,調節氣流量大小,切斷或接通管路的真空系統元件。真空閥門關閉件是用像膠密封圈或金屬密封圈來密封的。
真空閥門的分類:
1、根據工作壓力有低真空閥門、高真空閥門和超高真空閥門。
2、根據結構特點有蝶閥、球閥、隔膜閥、擋板閥、插板閥、角閥、直通閥、三通閥。
3、根據傳動原理有手動、氣動、電動、電磁。一般氣動是電磁先導、氣缸執行動作的過程,也可用手控制先導閥氣缸執行動作的過程。電動為手、電兩用,當停電時可用手動進行操作。
4、根據材料有不銹鋼、碳鋼、鋁合金為主體材料的閥門。
5、根據動密封的材料也可分金屬密封和非金屬密封閥門。軸封用O形橡膠圈一般真空動密封的漏率為10-4Pa.L/S,在軸運動過程中真空度不高,可用于要求不高的高真空條件下使用;軸封為金屬波紋管密封,其漏率為10-7Pa.L/S,適用于超高真空條件下使用。
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