常見電子顯微鏡的分類,常見電子顯微鏡包括哪幾種?- STM/SEM /TEM!
常見電子顯微鏡家族還包括下列這三種
STM :scanning tunneling microscope 掃描穿遂式電子顯微鏡 是一種利用量子力學中的穿隧效應探測物質表面結構的儀器,可以在 低溫下利用探針準確操作原子,例如做一些圖形。
SEM :scanning electron microscopy 掃描式電子顯微鏡 利用電磁透鏡聚焦高能的電子束而在試片掃描樣品依其所激發出的二 次電子與背向散射電子的接收對試片表面進行分析,可獲得試片表面 的化學成分,晶體缺陷等信息,是對固體物質表面進行綜合分析的儀器。
STEM:scanning & transmission electron microscop 描穿透式電子顯微鏡 即包含掃描式電子顯微鏡與穿透式電子顯微鏡的優點。
HRTEM:high resolution transmission electron microscop 高解析穿透式電子顯微鏡 比TEM觀測尺度更小,可以觀測到小于1埃的尺度 (1埃=10-10m)
TEM工作原理 在1924年 Louis de Broglie提出電子具有波動的特性(1929年諾貝爾物理獎),與光學顯微鏡的原理,利用光的波長來決定影像的解析度。Broglie的坡動說,無疑地提供了電子顯微鏡的理論基礎;1926年,Busch發現電子經過電磁場會發生偏折,這與光線經過透鏡發生偏折類似。 顧名思義,穿透式電子顯微鏡里的穿透,便是高能電子束能量遠大于物體本身的位壘,