測量范圍(mm)

外形尺寸(mm)

主機重量(Kg)

最大承受重量(Kg)

X

Y

Z

L

W

H

400

300

250

1600

950

1900

410

30

最大空間運動速度

最大空間運動加速度

465mm/s

870mm/s

測量精度

光學一維長度測量誤差：EU X/Y(1D)(μm)

1.8+L/200  MPE符合JJF 1318-2011

光學二維長度測量誤差：EU XY(2D)(μm)

2.0+L/200  MPE符合JJF 1318-2011

探針Z軸長度測量誤差：EU Z (μm)

3.0+L/200  MPE符合JJF 1318-2011

二維探測誤差：PF2D(μm)

2.0        MPE符合JJF 1318-2011

影像測頭探測誤差：PFV2D(μm)

2.0        MPE符合JJF 1318-2011

1

主機及機臺

機身主體采用高精密天然花崗巖，具有穩(wěn)定的溫度特性和抗時效變形能力

2

控制系統(tǒng)

AR3網(wǎng)絡板，網(wǎng)絡接口主板及伺服電機以及驅(qū)動做了全方面升級，Z軸帶剎車系統(tǒng)，保證機器的平穩(wěn)安全，定位更準

3

Easson測量軟件系統(tǒng)

自動版光學視覺量測軟件

4

相機

130萬數(shù)字高清網(wǎng)絡相機

5

光柵尺分辨率

0.01μm絕對光柵

6

導軌

三個軸采用精密級滾珠絲桿導軌，速度有大提升，而且運作平穩(wěn)

7

電機

直流伺服電機

8

鏡頭

旗辰Easson自主設計TC精密多段定倍自動變倍自動變焦遠心鏡頭（標配同軸光）實際倍率：30-145×

9

照明系統(tǒng)

5環(huán)8區(qū)LED冷光源各段獨立操控，256級亮度可調(diào)

10

品牌電腦

WIN7/WIN10

23.8高清

11

操作方式

搖控手柄、鼠標拖運、程序檢測

12

測頭

雷尼紹MCP測頭座壹個、Φ1、Φ2測針各壹根

房間溫度 (溫控間)   

18～22°C

溫度梯度(時間)

1°C /h

溫度梯度(時間)

2°C /24h

溫度梯度(空間) 

1°C /m

影像儀室濕度要求：

空氣相對濕度

40-70％

電源要求：

電壓

220V ± 10%

頻率

50/60 Hz

震動

15Hz以下＜0.001g

耗電量

1000VA

用電設備要求接地可靠：接地電阻小于4歐姆