美國MOG穆格出現於1940年。到50年代，這種元件的結構趨於成熟。隨著電子技術和計算機技術的發展，電液伺服系統的性能得到顯著改善，大大優於其他的液壓伺服系統，因而得到廣泛應用。電液伺服閥的內部結構可分滑閥位置反饋、載荷壓力反饋和載荷流量反饋；閥的級數可分單級、雙級和多級。在電液伺服閥中，將電信號轉變為旋轉或直線運動的部件稱為力矩馬達或力馬達。力矩馬達浸泡在油液中的稱為濕式，不浸泡在油液中的稱為乾式。其中以滑閥位置反饋、兩級乾式電液伺服閥應用zui廣。電液伺服閥的工作原理是力矩馬達在線圈中通入電流后產生扭矩，使彈簧管上的擋板在兩噴嘴間移動，移動的距離和方向隨電流的大小和方向而變化。例如擋板向右移近噴嘴時，就在主閥芯兩端面上產生壓力差推動主閥芯左移，使壓力油口P S與載荷1口相通，回油口與載荷 2口相通。主閥芯左移的同時通過反饋桿對力矩馬達產生的力矩和擋板的位移進行負反饋。因此，主閥芯的位移量就能精確地隨著電流的大小和方向而變化，從而控制通向液壓執行元件的流量和壓力。
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