Maruyama冷卻器冰水機chiller維修服務

半導體專用溫控裝置（Semiconductor Chiller）主要用于半導體制造過程中精確控制反應室的溫度。 它是一種自平衡循環裝置，主要由換熱器、循環泵、壓縮機和控制系統組成。 屬于生產過程中的溫控設備。半導體專用溫控設備利用制冷循環與工藝冷卻水的熱交換原理，高精度控制半導體工藝設備所用循環液的溫度、流量和壓力，以達到半導體工藝的溫度控制要求。它是集成電路制造過程中的關鍵設備。根據不同工藝的要求，控制給定溫度的循環液流過半導體工藝設備反應室內的電極或壁，將熱量帶入半導體專用溫控設備，從而傳遞熱量通過熱交換器進行制冷。制冷劑，再通過制冷劑將熱量釋放給工藝冷卻水，從而實現工藝過程的溫度控制。

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2023年半導體專用溫控裝置市場規模約46.9億元，2019-2023年年復合增長率CAGR約為 %，預計未來將持續保持平穩增長的態勢，到2030年市場規模將接近70.2億元，未來六年CAGR為6.0%。

可維修Maruyama Chiller丸山制冷機,eYR-8030SC、eYR-9030DC等Maruyama冰水機

主要用于半導體制造過程中精確控制反應室的溫度。 它是一種自平衡循環裝置，主要由換熱器、循環泵、壓縮機和控制系統組成。 屬于生產過程中的溫控設備。半導體專用溫控設備利用制冷循環與工藝冷卻水的熱交換原理，高精度控制半導體工藝設備所用循環液的溫度、流量和壓力，以達到半導體工藝的溫度控制要求。它是集成電路制造過程中的關鍵設備。根據不同工藝的要求，控制給定溫度的循環液流過半導體工藝設備反應室內的電極或壁，將熱量帶入半導體專用溫控設備，從而傳遞熱量通過熱交換器進行制冷。制冷劑，再通過制冷劑將熱量釋放給工藝冷卻水，從而實現工藝過程的溫度控制。