現在,現代化轎車都配備了多種傳感器。這些組件可將物理輸入變量變換成電氣信號,提供給引擎電子操控裝置以及安全快捷體系,用于完成開環和閉環操控功用。
除了主觀要素之外,許多購車者在選擇轎車時十分看重轎車的燃油功率、排放、安全和奢華/快捷性。這些要素推動了轎車智能傳感器運用的發展。
現在的轎車體系可記載和處理很多傳感輸入變量,比方加快、壓力、溫度、引擎速度、轉速、視點、力氣、距離、液位和化學成分(空氣質量或油品質量)。現代化的傳感器可在芯片上集成傳感元件和信號評價電子元件(溫度抵償、模數變換等),然后經過無線方法發送信息,壓力傳感器從而改善功能。
這篇文章將扼要說明車用微型機械壓力傳感器的運用領域,并討論其將來趨勢和需求。
裝置方位——技能
當時的技能和車用壓力傳感器的運用直接有關。傳感器的裝置方位(包含其溫度、壓力和環境介質)決議了運用哪種傳感元件和封裝技能。比方說,圖1扼要介紹了用于引擎辦理的傳感器。
關于壓力傳感器運用而言,咱們可以假定在壓力大于10帕時,傳感器工作在液體中或經過液體傳輸壓力信號。在這種情況下,器材封裝有必要滿足工作環境的嚴格需求。關于壓力小于10帕的運用(比方丈量進氣管氣壓(MAP)或大氣壓力(BAP))而言,選用凝膠涂層封裝就可以。
英飛凌科技,對于這種運用所選用的技能是以適用于轎車運用的0.5mm BiCMOS技能。壓力傳感器以電容性丈量原理為基礎(表面微機械加工),這意味著環境介質的壓力改變會致使電容發生改變,進而致使壓力輸出信號發生改變。為了可以變換物理壓力變量,在密封腔上覆蓋了一層壓力靈敏膜。為此,場氧化層就會在襯底的電容器下電極上發生。
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