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臭氧消毒機、臭氧發生器消毒方法與化學、紫外的比較：
1.臭氧與化學熏蒸殺菌比較：
臭氧作為廣譜、無殘余污染的氣體消毒劑比食品行業常用的消毒劑具有特殊的*性。與過氧乙酸、高錳酸鉀、甲醛（福爾馬林）、二氧化硫（硫磺熏蒸）等化學消毒劑相比：其殺菌能力與過氧乙酸相當，高于其它消毒劑。臭氧會自行分解為氧氣，不產生殘余污染，消毒后不需通風換氣。常規消毒均需通風換氣或化學中和，麻煩而又降低消毒效果。臭氧可直接對食品使用作殺菌或防霉保鮮，為干法消毒，簡單易行。臭氧殺菌濃度對食品是極微弱的氧化濃度，對食品無害。化學消毒劑理論上是不可行的，實際使用應很嚴格并操作復雜。
2.臭氧與紫外線燈管管照射殺菌比較：
紫外線燈管以光波輻射作用殺菌，只有照射到的位置且達到照射強度標準才有殺菌效果。食品加工車間很高、很大，照射強度與距離平方成反比，強度不夠，照射又有很大死角。臭氧為氣體，擴散性好，*，濃度均勻。紫外線燈管殺菌在相對濕度60％以上時效果急劇下降，80％濕度上時反可誘使細菌復活。臭氧則相反，濕度越高殺菌效果越好，對食品行業80％－90％高濕環境特別適合。
食品加工車間安裝臭氧設備所需投資與紫外線燈管相當（按16-18m3裝一只30W紫外線燈管設計標準），而運行費用由于臭氧設備省電、壽命長而大大降低，對于新建車間更為經濟。
食品行業如每天下班后消毒工作服，在20m2封閉房間內掛上幾十件工作服，在地上灑些水。如利用3g/h臭氧發生器開機3~4小時即可達到8~10PPM臭氧濃度取得殺滅率85%以上的消毒效果。把工作服掛在臭氧殺菌車間也有消毒作用，效果因濃度較低而差一些。
雖然臭氧是強臭氧劑，但由于在空氣中應用濃度與對表面氧化要求相比還是很低的，不足以造成明顯損害。實踐證明，應用多年的加工車間、冷庫，均未發現設備、裝置受損明顯的情況，橡膠制品除處。由于水處理應用臭氧濃度高，接觸臭氧部分的材料應具有防氧化能力。