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PCE-22是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機，其加熱溫度可達150℃。此款設備可用于清洗各種基片，為制作高質量的薄膜打好基礎。特別適合移除光刻膠，改善表面潤濕性，清洗SEM &TEM，紫外對聚合物改性等。
紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段，特別適合清除一些有機化合物。紫外燈主要發出兩種波長的光：185nm和254nm。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變為臭氧，254nm可以破壞化合物中的鍵（特別是碳碳鍵）。所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機化合物。
技術參數
電源 | AC 208~240V，單相 50/60Hz |
紫外燈 |
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腔體&樣品臺 |
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排氣口 |
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外形尺寸 | 510mm x 350mm x 400mm (W x H x D) |
凈重 | 28kg |
質保期 | 一年質保期，終生維護（不包含紫外燈） |
應用 |
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