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電壓

• 輸入：208 - 240VAC, 20 A, 50/60 Hz, 單相  ( < 3200W )
• 輸出： 0 - 8VAC （可調(diào)）zui大電流： 400A （可調(diào)）
• zui大功率：4000W（包括真空泵）

真空腔體

• 不銹鋼腔體：280mm ID. x 375 mm H，腔體內(nèi)壁做了電拋光處理
• 有一個(gè)150mm的觀察窗口（采用無氧銅密封圈密封）
• 一個(gè)RF-150法蘭，便于放入樣品。
• 一個(gè)KF-40法蘭,可與真空泵相連接
• 四個(gè)CF-35法蘭，便于安裝真空計(jì)、電極和其他用途備用

真空泵

（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）

• 儀器中包括一臺(tái)高抽速的渦輪分子泵和前級(jí)泵
• 前級(jí)泵抽速：600L/S
• 真空度：5.0x10-6 torr（泵開啟后40分鐘）
• 極限真空度：5.0x10-7  torr（烘烤溫度為60-80℃）
• 漏氣率：5.0x10-7Pa./S

蒸發(fā)加熱源 樣品臺(tái)

• 5個(gè)水冷電極安裝在腔體底部，可支持4個(gè)鎢加熱舟
• 每個(gè)鎢舟上面安裝有可移動(dòng)的擋板，所以實(shí)驗(yàn)時(shí)可以防止各物料之間的污染，樣品臺(tái)安裝在真空腔體頂部，直徑為150mm

• 樣品臺(tái)可以旋轉(zhuǎn)和加熱，旋轉(zhuǎn)速度0-20rpm，加熱zui高溫度600℃

• 蒸發(fā)源與樣品臺(tái)的距離為250mm
  
  

測(cè)厚儀

• 一個(gè)高分辨度的薄膜測(cè)厚儀安裝在腔體內(nèi)部
• 測(cè)量精度為：1.0?
  

循環(huán)水冷機(jī)

• 儀器使用過程中需要通冷卻水，為了節(jié)約用水，強(qiáng)烈建議使用循環(huán)水冷機(jī)
• 所需水流量>15L/min

控制單元

• 真空、厚度和輸入電源控制全部集合在一個(gè)控制盒內(nèi)
• 控制單元和真空腔體獨(dú)立分開，以便于操作

外形尺寸

L600mm× W860mm× H1500mm

凈重

600kg

質(zhì)保

一年質(zhì)保期，終生維護(hù)

質(zhì)量認(rèn)證

CE認(rèn)證