目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>光學(xué)測(cè)量系列>>探針臺(tái)>> FPAPO-α200進(jìn)口晶圓測(cè)試探針臺(tái)
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更新時(shí)間：2024-09-02 16:17:27瀏覽次數(shù)：626評(píng)價(jià)
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這款手動(dòng)晶圓測(cè)試探針臺(tái)是專業(yè)為晶圓測(cè)試設(shè)計(jì)的專業(yè)手動(dòng)探針臺(tái),可滿足6英寸,8英寸和12英寸晶圓測(cè)試需要,測(cè)試溫度范圍室溫~350℃,特別適合高溫和低溫環(huán)境下晶圓溫度特性測(cè)試。
手動(dòng)晶圓測(cè)試探針臺(tái)特點(diǎn)
可選擇6'',8''晶圓和12''晶圓配置
測(cè)試溫度：室溫~350℃
可選擇芯片固定配件
可配備護(hù)罩，防止露水凝結(jié)
可配備護(hù)罩，提供較低噪音環(huán)境
使用空氣快速定位的測(cè)微計(jì)進(jìn)行粗略移動(dòng)和微調(diào)
壓盤的Z運(yùn)動(dòng)有粗運(yùn)動(dòng)和細(xì)運(yùn)動(dòng)，粗運(yùn)動(dòng)可以用杠桿操作可以用千分尺調(diào)整。
手動(dòng)晶圓測(cè)試探針臺(tái)可選品防護(hù)外罩
手動(dòng)晶圓測(cè)試探針臺(tái)應(yīng)用
Low level IV (fA)和Low level CV (fF)
高功率器件探針測(cè)試：20KV DC/200A
RF測(cè)試
各種電阻測(cè)量，如sheet電阻測(cè)量
高溫和低溫環(huán)境下的溫度特性測(cè)試
可靠性測(cè)試，如TDDB
手動(dòng)晶圓測(cè)試探針臺(tái)可選配件
Thermal chuck from室溫 ~+350°C
355nm~1064nm激光切割機(jī)
各種光源
三目顯微鏡（標(biāo)配體視顯微鏡）
CCD相機(jī)
手動(dòng)晶圓測(cè)試探針臺(tái)可以連接配合的測(cè)試儀器
設(shè)備分析儀/參數(shù)分析儀
功率器件分析儀
源度量單位
曲線跟蹤器
精密LCR儀表
數(shù)字萬用表
阻抗分析儀
網(wǎng)絡(luò)分析器
手動(dòng)晶圓測(cè)試探針臺(tái)規(guī)格參數(shù)
| 型號(hào) | α150 | α200 | α300 |
| 晶圓卡片尺寸 | ~6英寸 | ~8英寸 | ~12英寸 |
| 位移臺(tái)行程（粗調(diào)） | X:150mm, Y:200mm | X:200mm, Y:200mm | X:320mm, Y:320mm |
| 位移臺(tái)行程（精調(diào)） | X：±12.5㎜ Y：±12.5㎜ | X：±12.5㎜ Y：±12.5㎜ | X：±12.5㎜ Y：±12.5㎜ |
| 位移臺(tái)Theta角范圍 | ±5° | ±5° | ±4° |
| Z軸位移臺(tái)行程 | 0-0.3-0.5mm | 0-0.3-0.5mm | 0-0.3-0.5mm |
| Z軸位移臺(tái)行程（精調(diào)） | 10mm | 10mm | 10mm |
| 尺寸 | W540×D635×H602㎜ | W540×D635×H602㎜ | W895×D760 ×H700㎜ |
| 重量 | 70Kg | 70kg | 165kg |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
會(huì)員.png)
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