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納米操縱系統采用納米探針模塊nanoprober為顯微鏡或電鏡下微納操作提供納米級微操縱方案,非常適合SEM和各種電鏡樣品微操作使用。
納米操縱系統布局非常方便,可快速增加或移除納米探針模塊,調整定位和方向,也可以現場遠程控制。
納米操縱系統可以與各種高分辨率電鏡,SEM匹配使用,采用磁性鏡頭設計,可與市場上主流掃描電鏡聯合使用,即使在加速電壓低于0.5kV也能充分施展高分辨率性能。
納米操縱系統的安裝非常方便,不需要改造原有的掃描電鏡,幾分鐘即可完成安裝。

納米操縱系統規格參數(單個納米探針模塊規格)

自由度：4個獨立的自由度X,Y,Z,R

尺寸：主體20.5mm x 21.7x 12.5mm, 機械臂8.3mm

重量：12g

最大定位分辨率：Stepping模式下:60nm(X,Y), 120nm(Z)

Scanning模式下：0.02nm(X,Y), 0.1nm(Z)

運動范圍： Stepping模式：20x20mm(XY), +/-180度（R), 41度（Z)

Scanning模式：440x250x780nm (XYZ)

運動速度：1.5mm/s (XY), 150mrad/s(Z)

力/力矩： 推力0.3N (XY), 升力：0.7mNm(5g) (Z)， hold力: 0.2N (XY)， 0.9mNm(6g) (Z)

Tilt 角：最高55度

漂移：<1nm /min

電學探針規格：

電壓范圍：+/-100V

電流范圍：100mA

漏電流：<100fA/V

帶寬：最大25MHZ

電阻：約為3.5歐姆

納米操縱系統各種布局