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這款菲索干涉儀 (Fizeau interferometer)是專業為光學鏡片平整度測量而研發的菲佐干涉儀,配套干涉儀軟件可處理帶有額外傾斜的干涉圖。
菲索干涉儀規格
•輸入孔徑：10~95mm（可選最大300mm）
•工作頻率：高達25Hz
•測量精度：0.032μm（P-V）
•測量像差的P-V值：高達5μm
•光源：二極管激光器
•光源波長：0.65μm
•成像：Firewire CCD相機

菲索干涉儀軟件功能
•允許處理真實圖像和另存為.bmp圖像
•該處理方法的精度約為λ/400
•結果以Zernike多項式系數、P-V和RMS值表示，并以2D和3D表示相位分布
為了獲得關于被測表面的信息，我們打算在x方向引入傾斜，并獲得8到60條干涉條紋，處理包括：
•干涉圖圖像注冊（或從.bmp文件加載）
•確定感興趣區域
•過濾。它允許排除假極值
•找到極限
•基于極值坐標的相位表示；通過Zernike多項式分解，P-V，RMS和PSF計算

菲索干涉儀軟件功能展示