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表面平整度測試儀,哈特曼測量儀Hartmannometer是為測量光學表面平整度設(shè)計的哈特曼分析計量儀器,是用方法和工作原理與菲索干涉儀 (Fizeau interferometer) *相同并且具有相同的性能。
表面平整度測試儀由激光束照射表面進行測量,用Shack-Hartmann波前傳感器測量反射波前。
表面平整度測試儀哈特曼測量儀的*優(yōu)點（與菲索干涉儀相比）
對振動不敏感
在振動下，哈特曼圖上的斑點會圍繞它們的平均位置移動。通過選擇較長的曝光時間，振動下的光斑質(zhì)心與無振動時相同。
表面平整度測試儀現(xiàn)場測量
一旦要測量的光學表面對齊，就不需要啟動采集程序。結(jié)果顯示在現(xiàn)場。它使消除振動對測量的影響變得更加容易。
具有成本效益的技術(shù)
這是一種成本較低的技術(shù)，它不使用昂貴的高平坦度光學元件。

表面平整度測試儀技術(shù)規(guī)格
光譜范圍             122nm~10.6µm
孔徑                           集成擴束器后無限制
實測曲率                 集成補償光學元件后無限制
精度                       λ/30 rms
橫向分辨率              根據(jù)要求：通常為孔徑的2/100
接口                           USB
表面平整度測試儀軟件適用于Windows 10、8、7
實時顯示Hartmanogram和波前分析：Zernike多項式（標準和條紋）、2D-3D條紋圖、2D-3D相位圖、2D-3D強度圖、M2、PSF、波前P-V&RMS；實時監(jiān)測參數(shù)。