| 產地類別 | 進口 | 產品類型 | 有油泵 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 面議 | 儀器種類 | 真空泵 |
| 應用領域 | 醫療衛生,化工,綜合 |
日本進口ULVAC愛發科羅茨泵密閉式電機
日本進口ULVAC愛發科羅茨泵密閉式電機
PRC系列是機械增壓泵，主要設計用于對清潔度要求特別高的半導體和液晶制造工藝。
采用封閉式電機，軸封不會漏油。也可選擇大氣壓驅動型。
采用封閉式電機，軸封不會漏油。也可選擇大氣壓驅動型。
特征
由于無油
殼體腔內沒有潤滑油，因此即使面對水蒸氣、溶劑等蒸汽也能發揮穩定的性能。采用屏蔽電機
通過采用屏蔽電機，我們能夠消除空氣/真空機械密封。可以在清潔的環境中使用，不用擔心漏油。表面處理，耐腐蝕性能優異
主要部件均經過陽極氧化鋁處理，表面硬度高，耐腐蝕性能優異，可防止泵內部劃傷和腐蝕。也可以選擇不進行表面處理。
由于可以與大氣壓驅動（變頻選項：變頻）低真空泵同時啟動，可有效縮短抽氣時間，因此與標準型相比，可縮短抽氣時間。除了標準選項和特殊應用選項外
，我們還提供特殊應用型號。
| 使用示例 | 類型（種類） | 適用型號 | 表面處理 | 油 |
| 通過空氣或惰性氣體排氣表面處理 提高抗異物能力 | 標準 | PRC-003A、PRC-006A、 PRC-012A、PRC-018A | ○ *1 | R-42 礦物油 |
當您想抑制空氣或惰性氣體排氣水分吸附對極限壓力的影響時 | X | PRC-003A-X、PRC-006A-X、 PRC-012A-X、PRC-018A-X | ? | R-42 礦物油 |
表面處理可防止油因腐蝕性氣體、可燃氣體和氧化性氣體而劣化，從而提高抗異物強度 | F | PRC-003A-F、PRC-006A-F、 PRC-012A-F、PRC-018A-F | ○ | J25F *2 氟油 |
*1 如果進行表面處理，排氣時間可能會受到吸濕釋放氣體的影響。
*2 組裝檢查將使用氟油進行，但不包括在內。如有需要，將另行安排。
目的
氣相沉積、濺射、離子鍍
真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣
分析設備、檢漏設備
氣體置換、填充、真空絕熱
熱處理爐、熔煉爐
其他各種真空裝置
規格
| 型號*1 | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | ||
| 最大抽速 | 50赫茲 | 280 立方米/小時 （4670 升/分鐘） | 500立方米/小時 （8330升/分鐘） | 1000立方米/小時 （16700升/分鐘） | 1500立方米/小時 （25000升/分鐘） | |
| 60赫茲 | 330立方米/小時 （5500升/分鐘） | 600立方米/小時 （10000升/分鐘） | 1200立方米/小時 （20000升/分鐘） | 1800立方米/小時 （30000升/分鐘） | ||
| 最大吸氣壓力 | 50赫茲 | 1.2 × 103帕 | 1.3× 103帕 | 1.2 × 103帕 | ||
| 60赫茲 | 9.3 × 102帕 | 1.1 × 103帕 | 9.3 × 102帕 | |||
| 最大允許壓差 | 50赫茲 | 4.0 × 103Pa | 7.3 × 103帕 | 4.3 × 103帕 | ||
| 60赫茲 | 3.3× 103帕 | 6.0 × 103Pa | 3.2 × 103帕 | |||
| 極限壓力*2 | 4.0 × 10-1Pa | 6.7 × 10-1Pa | ||||
| 可驅動壓力 | ~1.0 x 10 5 Pa（大氣壓驅動型） | |||||
| 電機*3 | 格式 | 屏蔽式三相異步電動機 | ||||
| 高效率等級 | - | |||||
| 輸出 | 0.75千瓦（2極） | 2.2千瓦（2極） | 3.7千瓦（2極） | 5.5千瓦（2極） | ||
| 電壓 （200V級電機） | 50赫茲 | 200V | ||||
| 60赫茲 | 200/220V | |||||
| 使用油*4 | ULVOIL R-42 | |||||
| 所需油量 | 0.7升 | 1.5升 | 1.9升 | |||
| 冷卻方式 | 水冷 | |||||
| 冷卻水 | 一次壓力 | 0.3兆帕 | ||||
| 入口/出口壓差 | 0.01MPa以上 | |||||
| 冷卻水量 | 2升/分鐘 | 3升/分鐘 | ||||
| 冷卻水溫度*5 | 5～30℃ | |||||
| 進氣直徑 JIS-B-2290 | 相當于VG80 | 相當于VG100 | 相當于VG150 | |||
| 排氣直徑 JIS-B-2290 | 相當于VF80 | 相當于VF100 | ||||
| 外形尺寸W×D×H *6 | 296×575×260毫米 | 356×619×320毫米 | 406×759×340毫米 | 406×989×340毫米 | ||
| 大量的 | 51公斤 | 86公斤 | 118公斤 | 150公斤 | ||
| 標準輔助泵 | VD60C | VD90C | VS2401 | VS2401 | ||
| 標準配件 | 1 本使用說明書、1 單位油 | |||||
注）本規格表采用SI單位制。非 SI 單位的換算如下。
4.0×10 -1 帕 = 3.0× 10 -3托
*1 標準產品經過表面處理（陽極氧化涂層）。 您也可以選擇不進行表面處理。
*2 用皮拉尼真空計測量（輔助泵和使用的油是標準的）。
*3 不兼容隔爆和防爆結構。
*4 可選擇氟油（J25F）。
*5 請在無結露的環境下使用。
*6 對于其他尺寸，請檢查我們網站上發布的 CAD 數據。
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