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TFS 200原子層沉積ALD

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公司主要銷售實(shí)驗(yàn)室儀器儀表、實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備、散熱材料、增材制造設(shè)備、電氣設(shè)備、電子產(chǎn)品、通訊器材、機(jī)械配件、通訊器材、電腦軟硬件、機(jī)械配件、非標(biāo)自動(dòng)化設(shè)備、五金工具、實(shí)驗(yàn)耗材和試劑(不含危險(xiǎn)化學(xué)品)、激光儀器及輔助設(shè)備;

電氣設(shè)備、信息系統(tǒng)設(shè)計(jì)、集成;工程管理服務(wù);單晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳納米管技術(shù)開(kāi)發(fā)、技術(shù)轉(zhuǎn)讓和檢驗(yàn)檢測(cè)服務(wù);

計(jì)算機(jī)軟硬件及輔助設(shè)備、信息系統(tǒng)軟件、非標(biāo)自動(dòng)化設(shè)備的租賃和維修;

銷售醫(yī)療器械、文化辦公用品、五金交電、機(jī)械設(shè)備、監(jiān)控設(shè)備、建筑材料、裝飾材料、辦公室用品;第二類醫(yī)療器械經(jīng)營(yíng)、第三類醫(yī)療器械經(jīng)營(yíng);依托進(jìn)口核心產(chǎn)品做研發(fā):

團(tuán)隊(duì)是由深圳大學(xué)從事材料,光學(xué),生物團(tuán)隊(duì)組成,目前核心創(chuàng)始人3位,分別負(fù)責(zé)材料,生物和光電領(lǐng)域,分別提供相應(yīng)配套設(shè)施以及技術(shù)解決方案等;業(yè)務(wù)目前主要覆蓋東莞,深圳,惠州,廣州等整個(gè)廣東地區(qū),可快速抵達(dá)廣東所在區(qū)域提供技術(shù)支持和服務(wù)。

目前典型服務(wù)客戶有:清華大學(xué)深圳國(guó)際研究生院,哈爾濱工業(yè)大學(xué)(深圳),南方科技大學(xué),深圳大學(xué),深圳技術(shù)大學(xué),北京大學(xué)深圳研究生院,松山湖材料實(shí)驗(yàn)室,大灣區(qū)大學(xué)(籌),東莞理工學(xué)院,中山大學(xué),暨南大學(xué),華南理工大學(xué),廣東工業(yè)大學(xué)等

純水機(jī),離心機(jī),旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀,光譜儀,質(zhì)譜儀,頻譜儀,示波器,掃描電子顯微鏡,電化學(xué)工作站,,流式細(xì)胞儀,手套箱,磁控濺射

一、簡(jiǎn)介:TFS 200 是一款適用于科學(xué)研究和企業(yè)研發(fā)的最靈活的 ALD 平臺(tái),是為多用戶研究環(huán)境中將可能發(fā)生的交叉污染降至而特別設(shè)計(jì)的。

TFS 200 不僅可以在晶圓,平面物體上鍍膜,還適用于粉末,顆粒,多孔的基底材料,或是有高深徑比的3D物體內(nèi)沉積高保形薄膜。

直接和遠(yuǎn)程等離子體沉積 (PEALD) 可作為TFS 200 的標(biāo)準(zhǔn)選項(xiàng)。等離子體是電容性耦合(CCP),這是當(dāng)今的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。等離子體選件可為直徑200毫米的基板(面朝上或面朝下)提供直接和遠(yuǎn)程等離子體增強(qiáng)沉積 (PEALD)

二、技術(shù)參數(shù):

  • 循環(huán)周期小于2秒。在特定的條件下可以小于1秒。

  • 高深徑比(HAR)選項(xiàng)適用于通孔和多孔的基底材料。

  • 可快速加熱和冷卻的冷壁真空反應(yīng)腔。

  • 安裝在真空反應(yīng)腔的輔助接口可實(shí)現(xiàn)等離子體和在線診斷等。

  • 加載鎖可用于快速更換基底材料并與其他設(shè)備集成




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