產(chǎn)品特點(diǎn)：

 ◆ 5-20毫秒的響應(yīng)時(shí)間

 ◆ 六個(gè)角度方向自由防震

 ◆ 緊湊、模塊化的多功能設(shè)計(jì)，模塊化可擴(kuò)展

 ◆ 無低頻共振并沒有空氣要求

 ◆ 提供*的低頻段隔振能力

 ◆ 主動(dòng)防震1Hz - 200Hz，被動(dòng)防振頻率 >200Hz ◆ 無電磁干擾

 ◆ 與LFS-3低頻傳感器搭配后，AVI系列主動(dòng)減振設(shè)備可以降 低到0.7Hz的隔離頻率

技術(shù)參數(shù)：

基本配置：兩個(gè)模塊和一個(gè)控制器

主動(dòng)隔振范圍：1Hz-200Hz

被動(dòng)隔振范圍:＞200Hz

垂直方向:約1.75 μm / N

水平方向:約 3.5μm / N

輸入電壓:90 -125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz

功耗:通常為18W

傳輸率:過10Hz＜-35dB

系統(tǒng)噪聲:低于50nG/√Hz

控制器尺寸:48 x 13 x 25 cm

使用環(huán)境:僅用于室內(nèi)

隔振模塊尺寸(單模塊)：720x190x112.5mm

負(fù)載范圍：0~800KG（雙模塊）

性能監(jiān)控:通過在示波器上顯示一個(gè)復(fù)用信號(hào)來表示是否帶有隔振效果的震動(dòng)等級(jí)

應(yīng)用領(lǐng)域：

•掃描電子顯微鏡（SEM）

•透射電子顯微鏡（TEM)

•掃描隧道顯微鏡（STM）

•掃描探針顯微鏡（SPM)

•核磁共振儀

•干涉儀

•輪廓儀

•光譜儀

•顯微鏡（SNOM)微納米硬度檢測儀

•光刻機(jī)

•還有更多！