*,實用的單層和多層鍍膜速率控制

用于單層和多層鍍膜工藝的XTC/3薄膜鍍層控制儀
裝備有ModeLock¹技術,提供驗證的模式跳躍防止功能,可達到始終如一的鍍膜質量. 使用XTC/3,可高度精確地控制鍍膜速率與膜層厚度, 具有能控制幾乎任何膜層數量的能力,容易安裝,和*的可靠性,可確保高的生產率.
 

■  有單膜層和多膜層型號
■  ModeLock技術防止由于模式跳躍導致的膜厚誤差
■  支持INFICON Crystal 12^™, CrystalSix^®和雙傳感器自動晶體切換,用于高生產率
■  XTC/3M多膜層型號支持多至99個工藝過程, 999個膜層, 32個鍍層, 2個傳感器和兩個源
■  XTC/3S單膜層型號支持多至9個鍍層, 2個傳感器和兩個源
■  易閱讀的TFT LCD圖形顯示器
■  為便于檢索,可*的和描述性的薄膜與過程名稱
■  有以太網連接件
■  單獨運行(無需計算機)或用PC運行的Windows^®軟件選件  
■  INFICON XTC/2控制儀的即插即用更換件(限于XTC/2功能和指令組)

應用：

集成電路執照
光學鍍膜
濺射鍍膜
薄膜太陽能電池制造
OLED制造