ICP-MS質譜儀是電感藕合等離子體質譜，它是一種將ICP技術和質譜結合在一起的分析儀器。ICP利用在電感線圈上施加的強大功率的高頻射頻信號在線圈內部形成高溫等離子體，并通過氣體的推動，保證了等離子體的平衡和持續電離，在ICP－MS中，ICP起到離子源的作用，高溫的等離子體使大多數樣品中的元素都電離出一個電子而形成了一價正離子。質譜是一個質量篩選和分析器，通過選擇不同質核比（m/z）的離子通過來檢測到某個離子的強度，進而分析計算出某種元素的強度。

ICP-MS質譜儀特點：
(1)多元素測量：可對多于7O種的元素(從Li到U)進行微量和痕量分析，檢測范圍從小于1 ppt到大于500 ppm，可達9個量級。
(2)光譜簡單：每一種元素(In除外)，均有一種同位素的譜線不受其他元素的譜線干擾。所以，在多元素測定時干擾少，此外，樣品中的有機相干擾小，可以測量有機相中的元素。
(3)靈敏度高：樣品量少，試劑用量少。
(4)速度快：通常的分析時間1～5 min(含清洗1～2rain).
(5)應用靈活：自動設置并自動優化測量條件。
(6)快速半定量分析：定量標定少量元素之后，儀器可以根據同位素的相對靈敏度測定全部元素的含量，這種方法在進行元素篩選的時候十分有用。
(7)同位素測定：可進行穩定同位素或放射性同位素的比值分析。
應用領域：
(1)環境分析：土壤、水質、空氣(包括大氣采樣)的污染程度及污染源項分析。
(2)臨床醫學：生物樣品中微量元素和有毒重金屬分析，如血液和尿液(樣品量僅需要0．2～0．5 m1)，已開展了職業病普查和兒童尿鉛普查等工作。
(3)藥學：藥物的質量控制。
(4)食品及化妝品的安全性評價：微量元素和有毒重金屬元素分析。
(5)核醫學：同位素分析。
(6)電子工業：痕量金屬元素分析。
(7)地球科學：同位素比值及元素構成分析，包括稀土元素分析。
(8)其他科學研究。