1、SF6壓縮機：高壓無油壓縮機   瑞士

a：理論排氣量：10m3/h               

b：大排氣壓力：5Mpa                   

c：小吸氣壓力：53Kpa

d：大吸氣壓力：0.35~0.8 Mpa

e：功率：1KW                           

f：電源：220V/380V  50HZ    

2、抽真空系統采用雙級旋片式真空泵  （ 德國  ）

a：真空泵采用風冷式可*運行

b：抽真空速率28---36m3/h

c：極限真空度0.06pa

d：功率1.5KW

3、制冷系統：法國主機3500 Kcal/h，R22，1.5KW，220V50HZ(或美國EMERSON  )

4、過濾系統（凈化系統：采用美國EMERSON濾芯，過濾器雙級過濾，真空活化自再生處理）包含油氣過濾/顆粒過濾/酸性物質、分解物凈化/微水過濾

5、SF6閥門：高壓同軸電磁閥    SF6  3-365-R01    德國 COAX

6、壓力表、真空表：（德國DAMSS    1218）、數字皮拉尼真空計0-100000pa

7、真空壓縮機：8m3/h    1mbar         

8、電子稱重

9、高效板式熱交換器：1.5HP  

10、裝置保修一年，終身維護

11、預留微水及純度儀接口。