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化工儀器網>產品展廳>行業專用儀器及設備>其它行業專用儀器>其它專用儀器> NIE-3000IBE離子束刻蝕

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NIE-3000IBE離子束刻蝕

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 那諾中國有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 產地 美國
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2023/11/13 10:46:07
  • 訪問次數 5336

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那諾中國有限公司專注于為大中華區域(包括中國大陸、香港、澳門和中國臺灣)的高校、科研院所、企業研發與生產等企業機構提供高性能、高性價比、定制化的薄膜工藝加工設備及科學分析檢測儀器。


那諾中國提供美國那諾-馬斯特薄膜工藝加工設備(包含磁控濺射、熱蒸鍍、電子束、PECVD、ALD、PA-MOCVD、RIE、離子束、DRIE、晶圓兆聲清洗機等)。


那諾中國提供英國KORE基于飛行時間的質譜儀,包含飛行時間二次離子質譜儀(TOF-SIMS)、質子轉移反應(PTR)質譜儀、電子轟擊電離(EI)質譜儀等。





ALD,PECVD,RIE,磁控濺射,熱蒸鍍,電子束,離子束,晶圓清洗機,PA-MOCVD,飛行時間二次離子質譜儀(TOF-SIMS)

產地類別 進口 應用領域 醫療衛生,化工,生物產業,電子,制藥

IBE離子束刻蝕

NIE-3000IBE離子束刻蝕產品概述:該系統為手動放片取片,但通過計算機全自動實現工藝控制的臺式離子束刻蝕系統,系統具有結構緊湊、功能強大、自動化程度高、模塊化設計易于維護、低成本的優勢。該系統所配套的所有核心組件均為。

NIE-3000IBE離子束刻蝕產品特點:

  • 低成本
  • 離子束:高達2KV/10mA
  • 離子電流密度100-360uA/cm2
  • 離子束直徑:4",5",6"
  • 兼容反應及非反應氣體(Ar, O2, CF4,Cl2)
  • 極限真空5x10-7Torr
  • 260l/s渦輪分子泵,串接500 l/min干泵
  • 14"不銹鋼或鋁質腔體
  • 水冷旋轉/傾斜樣品臺(NIE-3500)
  • 自動上下載片(NIE-3500)
  • 基于LabView軟件的PC計算機全自動控制
  • 占地面積30"x30"

產品應用:

  • 表面處理
  • 離子銑
  • 表面清洗
  • 帶活性氣體的離子束刻蝕:  光柵刻蝕,以及SiO2,Si和金屬的深槽刻蝕

 



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